[发明专利]一种融合现实全息光栅制作装置

说明书

本发明公开了一种融合现实全息光栅制作装置，包括：底座、用于激光线束发射端光斑发射组件、用于调节光斑的位置的滑轨、用于遮光的遮光通槽、旋转板和晶圆放置板，光斑发射组件的表面安装有两种线束光斑发射器，滑轨设为两个，且两个滑轨分别安装在底座的一侧，底座的另外一侧安装有旋转机构，旋转板和旋转机构为一体，晶圆放置板的表面安装有晶圆本体，通过调节装置中占用空间小，造价低，易于调节，结构紧凑、光路简单，制作的全息衍射光栅可得到更大的视场，具有重要的应用价值。

技术领域

本发明涉及全息光半导体领域，具体为一种融合现实全息光栅制作装置。

背景技术

MR＝Mix Reality＝混合现实。它是合并现实和虚拟世界而产生的新的可视化环境，虚拟物理和真实物体很难被区分。在新的可视化环境里物理和数字对象共存，并实时互动。

在现有的半导体的发展中，晶圆是具有一定外延结构用于制作半导体光电芯片的晶片，在光电芯片，特别是分布式反馈激光芯片中，需要在晶片上制作光栅进行选模，使其具有更好的单摸特性。

在中国专利授权号为CN207541290U中提出的一种技术方案，该技术方案提出了现有的全息曝光制作光栅需对激光器进扩束，激光器经扩束后通常只有中间半径为2cm区域的光斑均匀性能达到10％，对于制作一个3英寸或者更大面积晶片光栅来说，其均匀性无法满足要求，用这样的光斑制作一个3英寸或者更大面积晶片光栅会导致边缘光栅良率较低的问题，该技术方案通过两个调节单元和一个旋转台将激光光斑不断的通过遮光板改变光束的在全息屏上的照射位置，这样就能解决了边缘光栅良率较低的问题。

但是安装在其内部的全息屏具有高透光性、高亮度以及高对比度的性质，但全息显示屏由于受到全息衍射光栅，无法做到很大。

发明内容

本发明的目的在于提供一种占用空间小，造价低，易于调节，结构紧凑、光路简单的融合现实全息光栅制作装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种融合现实(MR)全息光栅制作装置，包括底座、用于激光线束发射端光斑发射组件、用于调节光斑的位置的滑轨、用于遮光的遮光通槽、旋转板和晶圆放置板，光斑发射组件的表面安装有两种线束光斑发射器，滑轨设为两个，且两个滑轨分别安装在底座的一侧，底座的另外一侧安装有旋转机构，旋转板和旋转机构为一体，晶圆放置板的表面安装有晶圆本体；其特征在于：旋转板的上表面在远离晶圆放置板的位置安装有调节装置，且调节装置的作用是通过自身的升降来将来配合旋转机构使全息屏的显示范围增大；调节装置包括齿条、滑片、齿轮和电机，旋转板的顶端在靠近晶圆放置板的位置安装有垂直滑板，齿条设有两个安装在旋转板的顶端，且两个齿条与垂直滑板为一整体，垂直滑板的表面套接有滑片，齿条的表面啮合有齿轮，齿轮的表面安装有旋转轴，旋转轴与电机连接。

优选的，滑轨的表面安装有可调节分光镜，且可调节分光镜与滑轨属于滑动连接，遮光通槽的内部两侧均安装有反光境，晶圆放置板和调节装置之间安装有滑槽。

优选的，晶圆放置板的表面两侧安装有滑槽，滑槽设有一对，一对滑槽的内壁安装有上压模块，上压模块的底部在靠近上压模块的底端处安装有下压模块，下压模块与其顶端安装的吸铁石为一整体。

优选的，旋转板的旋转角度为180度，α的夹角为5至度10。

优选的，滑槽的表面套接有滑片，且滑槽与齿条为一体的垂直滑板贴合，的固定有全息屏放置板。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：本发明通过调节装置中占用空间小，造价低，易于调节，结构紧凑、光路简单，制作的全息衍射光栅可得到更大的视场，具有重要的应用价值。

附图说明

图1为本发明整体结构示意图；

图2为本发明在整体的不同位置的示意图；

图3为本发明调节装置的部分结构结构图；