[发明专利]一种在线可拆废气处理装置

说明书

本发明提供一种在线可拆废气处理装置，涉及废气处理设备领域，包括废气燃烧装置、粉尘分离装置、水箱和后置除尘装置，粉尘分离装置包括第一粉尘分离腔、第二粉尘分离腔和连接通道，第一粉尘分离腔的上端与废气燃烧装置连通，第一粉尘分离腔的内部从上至下依次设置有冷却喷嘴、第一板阀和第二板阀。通过连接通道将第一粉尘分离腔与第二粉尘分离腔连通，并在第一粉尘分离腔的内部设置第一板阀和第二板阀，第二粉尘分离腔的内部设置第三板阀，维护时，关闭第一板阀、第二板阀和第三板阀，打开连接通道的手阀，使尾气通过连接通道进入第二粉尘分离腔，利用冷却喷嘴可将部分粉尘冲洗到第二粉尘分离腔，使得设备可正常工作，清理粉尘分离腔的粉尘。

技术领域

本发明涉及废气处理设备领域，尤其涉及一种在线可拆废气处理装置。

背景技术

泛半导体行业客户生产过程中大量使用化学品和特殊气体，生产环节持续产生大量有毒有害气体的工艺废气。工艺废气需要与生产工艺同步进行收集、治理和排放，废气处理系统及设备是客户生产工艺不可分割的组成部分，其安全稳定性直接关系到客户的产能利用率、产品良率、员工职业健康及生态环境。故在生产线上(尤其8英寸、12英寸晶圆)都已经用local scrubber来处理产线上各个工艺产生的废气。

现有的废气处理系统存在以下问题：1、粉尘堆积堵塞，堵塞位置主要是进口和腔体，尤其是多粉尘、金属制成工艺，1天到10天就得进行清理，投入大量人力物力，停机清理，占用大量时间，降低设备利用率。

发明内容

本发明提供一种在线可拆废气处理装置，用以解决现有的废气处理系统存在容易被粉尘堆积堵塞，维护周期短和设备利用率低的问题。

本发明提供一种在线可拆废气处理装置，包括：

废气燃烧装置，适于对输入的废气进行燃烧，形成粉尘和尾气；

粉尘分离装置，所述粉尘分离装置包括第一粉尘分离腔、第二粉尘分离腔和连接通道，所述第一粉尘分离腔的上端与所述废气燃烧装置连通，所述第一粉尘分离腔的内部从上至下依次设置有冷却喷嘴、第一板阀和第二板阀，所述第一粉尘分离腔的一侧设置有备用排气口，所述备用排气口位于所述第一板阀的上方；所述第二粉尘分离腔的内部从上至下依次设置有冷却喷嘴和第三板阀，所述第二粉尘分离腔的一侧设置有备用进气口，所述备用进气口位于所述第三板阀的上方；所述连接通道的中部设置有手阀，所述连接通道的一端与所述备用排气口连通，另一端与所述备用进气口连通；

水箱，所述水箱分别与所述第一粉尘分离腔、所述第二粉尘分离腔的下端连通；

后置除尘装置，所述后置除尘装置的进气口与所述第二粉尘分离腔的上端连通。

根据本发明提供一种的在线可拆废气处理装置，所述废气燃烧装置包括侧壁和顶盖，所述顶盖盖合于所述侧壁的顶部，所述侧壁与所述顶盖围成燃烧腔，所述顶盖设置有与所述燃烧腔连通的废气入口和烧嘴，所述侧壁的底部与所述第一粉尘分离腔的上端连通，所述侧壁的内部形成有夹层空腔，所述侧壁内表面的上部设置有连通所述夹层空腔与所述燃烧腔的出水口，所述侧壁的外表面设置有与所述夹层空腔连通的进水口。

根据本发明提供一种的在线可拆废气处理装置，所述出水口呈环形分布于所述侧壁的内表面，以使通过所述出水口流出的水可沿所述侧壁的内表面向下流动。

根据本发明提供一种的在线可拆废气处理装置，所述废气入口设置有与所述废气入口连通的氮气吹扫入口。

根据本发明提供一种的在线可拆废气处理装置，所述废气燃烧装置还包括腔体刮刀，所述腔体刮刀包括挂接部和刀体，所述挂接部挂设于所述出水口的边沿，所述刀体与所述侧壁的内表面贴合。

根据本发明提供一种的在线可拆废气处理装置，所述第二粉尘分离腔的侧壁上设置有侧向冷却喷嘴，所述侧向冷却喷嘴朝向所述备用进气口。