[发明专利]一种半导体测试探针用带有法兰止位的探针套筒有效
申请号: | 202110283944.4 | 申请日: | 2021-03-17 |
公开(公告)号: | CN113063974B | 公开(公告)日: | 2021-10-08 |
发明(设计)人: | 曹镭 | 申请(专利权)人: | 浙江金连接科技有限公司 |
主分类号: | G01R1/067 | 分类号: | G01R1/067 |
代理公司: | 北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙) 11357 | 代理人: | 徐昶 |
地址: | 314000 浙江省嘉兴市经济*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 半导体 测试 探针 带有 法兰 套筒 | ||
1.一种半导体测试探针用带有法兰止位的探针套筒,包括第一套筒(1)、第二套筒(2)、第一顶针(3)和第一法兰(4),其特征在于,所述第一法兰(4)安装在第一套筒(1)上,第一套筒(1)上开设有第一安装孔(101),第二套筒(2)活动安装在第一安装孔(101)内,第一安装孔(101)上设有第一止位台阶(102),第二套筒(2)上设有第一止位凸台(204),第一止位凸台(204)位于第一止位台阶(102)上方,第一安装孔(101)内活动安装有第一滑块(10),第一滑块(10)与第一止位凸台(204)之间设有第一弹簧(8),第一滑块(10)上设有第一导向凸台(1001),第一安装孔(101)上设有第一导向槽(103),第一导向凸台(1001)活动安装在第一导向槽(103)内,第一滑块(10)上设有第一螺纹孔(1002);
所述第二套筒(2)上开设有第二安装孔(201),第一顶针(3)活动安装在第二安装孔(201)内,第二安装孔(201)内设有第二止位台阶(202),第一顶针(3)上设有第二止位凸台(301),第二止位凸台(301)位于第二止位台阶(202)上方,第二安装孔(201)内活动安装有第二滑块(11),第二滑块(11)与第二止位凸台(301)之间设有第二弹簧(9),第二滑块(11)上设有第二导向凸台(1101),第二安装孔(201)上设有第二导向槽(2011),第二导向凸台(1101)活动安装在第二导向槽(2011)内,第二滑块(11)上设有第二螺纹孔(1202);
所述第一安装孔(101)的上方设有第一调整模块(13),第一调整模块(13)包括第一调整底座(131)、第一齿轮(132)和第一丝杆齿轮(136),第一调整底座(131)上开设有第一齿轮安装槽(1311),第一齿轮安装槽(1311)上开设有第一通孔(1314),第一齿轮安装槽(1311)的侧面均匀的设有多个第一调整齿轮安装槽(1312),第一调整齿轮安装槽(1312)上设有第一转轴安装孔(1313),第一齿轮安装槽(1311)上下端设有第一旋转固定槽(1315),第一齿轮安装槽(1311)内活动安装有第一齿轮(132),第一齿轮(132)的两端设有第一安装凸台(1321),第一安装凸台(1321)活动安装在第一旋转固定槽(1315)内,第一转轴安装孔(1313)内活动安装有第一转轴(134),第一转轴(134)上安装有第一调整齿轮(133)和第一变速齿轮(135),第一调整齿轮(133)安装在第一调整齿轮安装槽(1312)内,第一变速齿轮(135)位于第一调整底座(131)的外端面上,第一调整齿轮(133)与第一齿轮(132)啮合,第一调整底座(131)设有第一变速齿轮(135)的外端面上活动安装有第一丝杆齿轮(136),第一丝杆齿轮(136)上设有第一T形环台(1361),第一调整底座(131)上设有第一T形环槽(1316),一T形环台(1361)活动安装在第一T形环槽(1316)内,第一变速齿轮(135)与第一丝杆齿轮(136)啮合,第一丝杆齿轮(136)的端面上设有第一丝杆(7),第一丝杆(7)穿过第一螺纹孔(1002);
所述第一套筒(1)和第二套筒(2)内设有第一调整杆(6),第一调整杆(6)位于第一安装孔(101)内,第一调整杆(6)由上到下依次由第一工作段(61)、过度段(62)和第二工作段(63)组成,第二工作段(63)上设有第二丝杆(12),第二丝杆(12)穿过第二螺纹孔(1202);
所述第一调整杆(6)设有第三安装孔(601),第三安装孔(601)内活动安装有第二调整杆(14),第一工作段(61)上开设有圆周分布的第一开口槽(611),第一开口槽(611)上设有第一斜面(612),第二调整杆(14)上开始有圆周分布的第一安装槽(141),第一安装槽(141)上设有第一安装轴(142),第一安装轴(142)上活动安装有第一锁杆(143),第一锁杆(143)上端位于第一开口槽(611)内,第一齿轮(132)的内壁均匀设有第一传动孔(1322),第一开口槽(611)的位置与第一齿轮(132)的位置相互对应,当第一锁杆(143)向前运动时第一锁杆(143)受第一斜面(612)的作用旋转,第一锁杆(143)端面开始抵触第一齿轮(132)内壁。
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