[发明专利]一种镀膜设备

权利要求书

1.一种镀膜设备，其特征在于：包括成膜室，所述成膜室内设置有基板架和基板盘，其中所述基板盘用于搭载待成膜产品，所述基板架用于悬挂安装所述基板盘，所述基板架连接有公转旋转机构，所述基板盘连接有自转旋转机构，所述公转旋转机构和所述自转旋转机构相独立；所述成膜室的内设置有蒸发源，所述蒸发源位于所述基板盘的下方；所述成膜室的内部设置有水晶监控装置，所述水晶监控装置用于监控所述待成膜产品上的成膜膜厚；所述成膜室一侧具有成膜室门，所述成膜室和所述成膜室门之间设置有开关门机构和锁紧机构；所述成膜室的一侧设置有气动控制装置，所述气动控制装置连接控制所述开关门机构和所述锁紧机构。

2.根据权利要求1所述的一种镀膜设备，其特征在于：所述公转旋转机构和所述自转旋转机构可实现共同工作或独立工作。

3.根据权利要求2所述的一种镀膜设备，其特征在于：所述公转旋转机构包括公转马达、皮带轮机构、由若干齿轮相啮合构成的传动齿轮组以及转动轴构成，其中所述公转马达通过所述皮带轮机构与所述传动齿轮组的传动始端相连接，所述传动齿轮组的传动终端连接所述转动轴，所述转动轴与所述基板架固定连接，所述公转马达可驱动所述基板架公转。

4.根据权利要求2所述的一种镀膜设备，其特征在于：所述自转旋转机构包括自转马达、皮带轮机构、由若干齿轮相啮合构成的传动齿轮组以及连接杆，所述自转马达通过所述皮带轮机构与所述传动齿轮组的传动始端相连接，所述传动齿轮组的传动终端连接所述连接杆，所述连接杆与所述基板盘固定连接，所述自转马达可驱动所述基板盘自转。

5.根据权利要求1所述的一种镀膜设备，其特征在于：所述成膜室门的一侧与所述成膜室主体之间铰接，在所述成膜室主体与所述成膜室门之间设置有开关门机构，所述开关门机构用于连接控制所述成膜室门的启闭，使所述成膜室门可旋转打开或可旋转闭合，在所述成膜室主体的侧面设置有锁紧机构，所述锁紧机构用于在所述成膜室门闭合后对所述成膜室门与所述成膜室主体之间的对接位置进行锁紧。

6.根据权利要求1所述的一种镀膜设备，其特征在于：所述水晶监控装置包括水晶本体，在所述水晶本体的外围设置有水晶防护罩，所述水晶防护罩上开设有供所述水晶本体监测用的开口，所述水晶本体和所述水晶防护罩之间设置有可控启闭的水晶挡板，所述水晶挡板的启闭可切换所述水晶本体与所述水晶防护罩上的开口之间的连通状态。

7.根据权利要求1所述的一种镀膜设备，其特征在于：在成膜室内设置有加热机构，所述加热机构用于对基板进行加热，所述加热机构为卤素灯。

8.根据权利要求1所述的一种镀膜设备，其特征在于：所述成膜室连接有机械泵和高真空泵。