[发明专利]电子束引出窗及包含其的电子束发生器

说明书

本发明公开了一种电子束引出窗及包含其的电子束发生器，该电子束引出窗包括：薄膜；窗体，窗体的中部设置有窗口；至少一个第一格栅单元，第一格栅单元包括第一格栅槽；至少一个第二格栅单元，第二格栅单元包括第二格栅槽，第一格栅单元与第二格栅单元间隔设置，且均位于窗口上，第二格栅单元相对于第一格栅单元沿扫描方向被配置于窗口的远端。该电子束引出窗利用了近端第一格栅槽长度短的优点，便于薄膜上的热量快速传导至窗体，同时，窗口被第一格栅单元和第二格栅单元分割，使得第二格栅槽的长度变短，有利于第二格栅单元中部的热量传导至窗体的边缘，延长薄膜及电子束引出窗的使用寿命。

技术领域

本发明涉及一种电子束引出窗及包含其的电子束发生器。

背景技术

电子束发生器广泛用于工艺辐照和科研实验，其电子束的引出窗口是非常关键的部件。该部件两侧分别为大气和真空，需要在引出窗的格栅上配置便于电子束穿透的金属或非金属薄膜。

通常窗口的长度方向为电子束流引出的扫描方向，即电子束在该方向来回扫描，引出后形成一定尺寸的辐照工艺长度。该长度越长，越有利于加工幅面越大的物品。电子束引出窗的格栅槽的延伸方向可以与窗口的长度方向平行，但是格栅槽的长度越长，越不利于窗口中部的热量传导，容易造成格栅中部的钛膜及格栅板变热，缩短引出窗的使用寿命。电子束引出窗的格栅槽的延伸方向还可以与窗口的长度方向垂直，使得格栅槽的长度变短，便于将窗口中间的热量传导到窗口四周。但是当增加扫描宽度时，在扫描方向的两端，由于射线与格栅侧面形成一定角度，格栅的侧面会对射线有阻挡，降低了射线的通过率，同时电子束在穿透钛膜时会导致格栅和钛膜两端热量沉积较大，容易造成格栅两端的钛膜及格栅板变热，引起格栅板变形，缩短引出窗的使用寿命。

为了解决该问题，在专利号CN207589258 U的专利中，将格栅板与板材主体在水平面内的夹角自板材主体中心向两侧逐渐变小，其倾斜角度正对电子束行进角度，以减小格栅对射线的阻挡。但是这种方法并不能够从根本上解决上述问题。该方法具有如下不足：(1)格栅的侧面按照射线的出射角度加工，加工困难，加工成本高；(2)格栅的侧面还是存在部分阻挡射线的情况，射线通过率不佳。

发明内容

本发明要解决的技术问题是为了克服现有技术中的电子束引出窗射线通过率低、散热差的缺陷，提供一种电子束引出窗及包含其的电子束发生器。

本发明是通过下述技术方案来解决上述技术问题：

一种电子束引出窗，其包括薄膜，所述电子束引出窗还包括：

窗体，所述窗体的中部设置有窗口；

至少一个第一格栅单元，所述第一格栅单元包括第一格栅槽，所述第一格栅槽沿纵向方向延伸设置；

至少一个第二格栅单元，所述第二格栅单元包括第二格栅槽，所述第二格栅槽沿横向方向延伸设置，所述第一格栅单元与所述第二格栅单元间隔设置，且均位于所述窗口上，所述第二格栅单元相对于所述第一格栅单元沿扫描方向被配置于所述窗口的远端。

在本方案中，该电子束引出窗设置有第二格栅单元和第一格栅单元，使用时，电子束的引流方向为横向方向，将第一格栅单元配置于扫描方向的中部，第二格栅单元配置于扫描方向的远端。该电子束引出窗利用了近端纵向设置的第一格栅槽长度短的优点，便于薄膜上的热量快速传导至窗体，提高薄膜及窗体的使用寿命，同时，窗口被第一格栅单元和第二格栅单元分割，使得横向设置的第二格栅槽的长度变短，有利于第二格栅单元中部的热量传导至窗体的边缘，延长薄膜及电子束引出窗的使用寿命。此外，由于电子束的扫描方向与横向设置的第二格栅槽的延伸方向相同，当射线扫描到处于远端的第二格栅单元时，第二格栅单元的第二格栅槽的侧面不会对射线造成阻挡，提高射线的通过率。

较佳地，所述第二格栅单元的数量为两个，所述第一格栅单元的数量为一个，两个所述第二格栅单元分别设置于所述第一格栅单元的两侧。