[发明专利]一种单晶炉石墨加热器制备用钽箔预处理装置有效
申请号: | 202110271845.4 | 申请日: | 2021-03-12 |
公开(公告)号: | CN113136582B | 公开(公告)日: | 2023-09-22 |
发明(设计)人: | 付钦堂 | 申请(专利权)人: | 昆明汇泉高纯半导材料有限公司 |
主分类号: | C23G3/00 | 分类号: | C23G3/00 |
代理公司: | 深圳立专知识产权代理有限公司 441000 | 代理人: | 陈文爽 |
地址: | 650000 云南省*** | 国省代码: | 云南;53 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 单晶炉 石墨 加热器 制备 用钽箔 预处理 装置 | ||
本发明涉及一种石墨加热器制备领域,尤其涉及一种单晶炉石墨加热器制备用钽箔预处理装置。本发明要解决的技术问题是:提供一种单晶炉石墨加热器制备用钽箔预处理装置。本发明的技术方案为:一种单晶炉石墨加热器制备用钽箔预处理装置,包括有底架、控制器、酸洗箱、酸洗辅助组件、酸液清理组件和水洗组件;酸液清理组件与水洗组件相连接。本发明使用时实现了将一叠钽箔进行酸洗时,使钽箔在酸液中摆动,让钽箔各层间产生间隔,从而充分进行酸洗,酸洗后将钽箔层中酸液挤出并回收,提升酸洗效果同时节约了资源,进行水洗时,使钽箔摆动同时在侧面喷出水柱,以对钽箔充分水洗。
技术领域
本发明涉及一种石墨加热器制备领域,尤其涉及一种单晶炉石墨加热器制备用钽箔预处理装置。
背景技术
一种高温用复合材质石墨加热器,以石墨为基体,内表面为碳化钽层的复合材质石墨加热器,实现了石墨内部与被加热元件的隔离,杜绝了高温下石墨表面碳的挥发,在制备时需要对钽箔进行预处理,采用碾压机对钽箔进行碾压,对钽箔进行酸洗和水洗,保证钽箔洁净,然后将钽箔贴附在石墨加热器内表面,再进行高温热处理。
现有技术中,在对一叠钽箔进行预处理时,在酸洗过程中,由于钽箔各层互相贴合无法对一叠钽箔充分进行酸洗,而且在酸洗后,将一叠钽箔从酸洗液中取出时,钽箔夹层中含有大量的酸液,需要大量时间等待酸洗滴净,若取出后直接水洗浪费了酸液同时需要大量的水进行稀释以达到水洗效果,水洗时同样由于钽箔堆叠无法充分进行水洗。
综上,我们提出了一种单晶炉石墨加热器制备用钽箔预处理装置。
发明内容
为了克服在对一叠钽箔进行预处理时,在酸洗过程中,由于钽箔各层互相贴合无法对一叠钽箔充分进行酸洗,而且在酸洗后,将一叠钽箔从酸洗液中取出时,钽箔夹层中含有大量的酸液,需要大量时间等待酸洗滴净,若取出后直接水洗浪费了酸液,同时需要大量水进行稀释以达到水洗效果,水洗时同样由于钽箔堆叠无法充分进行水洗的缺点,要解决的技术问题是:提供一种单晶炉石墨加热器制备用钽箔预处理装置。
本发明的技术方案为:一种单晶炉石墨加热器制备用钽箔预处理装置,包括有底架、控制器、酸洗箱、酸洗辅助组件、酸液清理组件和水洗组件;底架与控制器相连接;底架与酸洗箱相连接;底架与酸洗辅助组件相连接;底架与酸液清理组件相连接;底架与水洗组件相连接;酸液清理组件与水洗组件相连接。
作为更进一步的优选方案,酸洗辅助组件包括有第一连接板、第一电动滑块、第一电动滑轨、第一电动推杆、第二连接板、第一固定轴、第三连接板、柱形滑块、传动圆柱、第一传动杆、第一平齿轮、U形连接架、第一连接长板、第一电动夹、第二电动推杆、第四连接板、第二电动滑轨、第二电动滑块、第二连接长板和第二电动夹;第一连接板侧面与第一电动滑块进行固接;第一电动滑块与第一电动滑轨进行滑动连接;第一电动滑轨与底架进行固接;第一连接板两侧对称设置有第一电动滑块和第一电动滑轨;第一连接板底面一侧与第一电动推杆进行固接;第一电动推杆与第二连接板进行固接;第二连接板与第一固定轴进行固接;第一固定轴与第三连接板中部进行转动连接;第三连接板侧面与柱形滑块进行固接;柱形滑块与传动圆柱进行滑动连接;传动圆柱与第一传动杆进行固接;第一传动杆与第一平齿轮进行固接;第一传动杆与U形连接架进行转动连接;U形连接架与第二连接板进行固接;第一连接长板通过转轴与第三连接板进行转动连接;第一电动夹与第一连接长板进行固接;第一连接板底面两侧对称设置有第一电动推杆、第二连接板、第一固定轴、第三连接板、柱形滑块、传动圆柱、第一传动杆、第一平齿轮、U形连接架、第一连接长板和第一电动夹的组合;第二电动推杆与第一连接板底面中部进行固接;第二电动推杆与第四连接板进行固接;第四连接板与第二电动滑轨进行固接;第二电动滑轨与第二电动滑块进行滑动连接;第二电动滑块与第二连接长板进行固接;第二连接长板与第二电动夹进行固接。
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