[发明专利]面板研磨吹气对位的方法及其装置有效

专利信息
申请号: 202110270061.X 申请日: 2021-03-12
公开(公告)号: CN113021184B 公开(公告)日: 2022-08-23
发明(设计)人: 王伟 申请(专利权)人: 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
主分类号: B24B37/34 分类号: B24B37/34;B24B37/04;B24B1/00
代理公司: 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 代理人: 徐世俊
地址: 518132 广东省深*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 面板 研磨 吹气 对位 方法 及其 装置
【权利要求书】:

1.一种面板研磨吹气对位的方法,其特征在于:所述面板研磨吹气对位的方法包含以下步骤:

提供一面板,所述面板具有至少一对位标记,其中所述面板通过一面板输送装置输送,所述面板设置于所述面板输送装置上时,所述面板通过所述面板输送装置的多个面板承拖架承拖,与所述面板承拖架连接的多个肋部上设置有多个真空吸嘴以吸住所述面板,使所述面板固定在所述面板输送装置上,所述面板通过一面板输送装置输送前往一研磨装置前,所述面板上经过一水洗步骤有液体残留于其上;提供一对位装置,配置用以抓取所述至少一对位标记以进行对位,在所述面板通过所述面板输送装置输送至所述对位装置时,所述对位装置会抓取所述面板上的所述至少一对位标记以进行对位,其中所述至少一对位标记上残留的液体会影响所述对位装置抓取所述至少一对位标记;

提供一吹气装置,具有一自动调节组件,所述自动调节组件配置用以调节所述吹气装置的一吹气位置,进而将所述至少一对位标记附近的液体吹净,以便暴露所述至少一对位标记;及

通过所述对位装置识别出所述至少一对位标记时,将所述至少一对位标记对准对位装置的焦点,并使所述自动调节组件调节所述吹气装置以至少一对位标记为中心,以所述对位装置的视场为范围,向外旋转吹净视场内所述面板上的液体,从而能够自动化地控制所述吹气装置的一吹气位置或吹气角度,

其中所述自动调节组件包含一电磁铁组件,及所述吹气装置包含一吹气头,由一磁性材料构成,其中当所述自动调节组件调节所述吹气装置的所述吹气位置时,所述电磁铁组件通过一磁场施加于所述吹气头使得所述吹气头偏转一角度,进而改变所述吹气装置的所述吹气位置。

2.如权利要求1所述的面板研磨吹气对位的方法,其特征在于:所述自动调节组件包含一弹簧组件,所述弹簧组件对所述吹气头提供一牵引力,使得当所述电磁铁组件未施加所述磁场于所述吹气头时,所述吹气头通过所述弹簧组件对所述吹气头提供的所述牵引力,将所述吹气头拉往所述弹簧组件的方向。

3.如权利要求1所述的面板研磨吹气对位的方法,其特征在于:所述对位装置包含一相机模组,当所述相机模组识别出所述至少一对位标记时,将所述至少一对位标记对准所述相机模组的焦点,并使所述自动调节组件调节所述吹气装置以所述至少一对位标记为中心,以所述相机模组的一视场为范围,向外旋转吹净所述视场内所述面板上的液体。

4.一种面板研磨吹气对位装置,其特征在于:所述面板研磨吹气对位装置包含:

一面板输送装置,配置用以输送一面板,所述面板具有至少一对位标记;

一吹气装置,具有一自动调节组件,所述自动调节组件配置用以调节所述吹气装置的一吹气位置,进而将所述至少一对位标记附近的液体吹净,以便暴露所述至少一对位标记;以及

一对位装置,配置用以抓取所述至少一对位标记以进行对位,

其中所述自动调节组件包含一电磁铁组件及一电流控制装置,及所述吹气装置包含一吹气头,由一磁性材料构成,其中当所述自动调节组件调节所述吹气装置的所述吹气位置时,通过所述电流控制装置使所述电磁铁组件产生一磁场施加于所述吹气头使得所述吹气头偏转一角度,进而改变所述吹气装置的所述吹气位置,

其中所述对位装置包含一相机模组,当所述相机模组识别出所述至少一对位标记时,将所述至少一对位标记对准所述相机模组的焦点,并使所述自动调节组件调节所述吹气装置以所述至少一对位标记为中心,以所述相机模组的一视场为范围,向外旋转吹净所述视场内所述面板上的液体。

5.如权利要求4所述的面板研磨吹气对位装置,其特征在于:所述自动调节组件包含一弹簧组件,所述弹簧组件对所述吹气头提供一牵引力,使得当所述电磁铁组件未施加所述磁场于所述吹气头时,所述吹气头通过所述弹簧组件对所述吹气头提供的所述牵引力,将所述吹气头拉往所述弹簧组件的方向。

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