[发明专利]一种掩膜板及其制备方法

说明书

本公开提供了一种掩膜板及其制备方法，该掩膜板包括：支撑架；与支撑架贴合设置的第一膜层；第二膜层，其设置在第一膜层远离支撑架的一侧，第二膜层的外边框不超出支撑架的外边框；其中，第二膜层的厚度小于第一膜层的厚度。本公开通过在第一膜层远离支撑架的一侧设置第二膜层，并且设置第二膜层的厚度小于第一膜层的厚度，通过第二膜层进行蒸镀，并且设置第二膜层的厚度小于第一膜层的厚度，此时第一膜层能够对第二膜层进行一定的支撑，以避免第二膜层因无法支撑自身重量导致第二膜层损坏，进而达到减小掩膜板的膜厚减薄区域的目的，进而实现减小显示面板的边框的目的。

技术领域

本公开涉及掩膜板技术领域，具体而言，涉及一种掩膜板及其制备方法。

背景技术

在制备显示面板过程中，需要将各层有机发光材料蒸镀到基板上，蒸镀过程会使用相应的金属掩膜板，其中，公共层的掩膜板用于蒸镀公共层的有机或金属材料。为了确保能够将有机材料准确的蒸镀到基板相应的位置上，需要将掩膜板与基板完全贴合，进而传统的掩膜板制备过程中，对膜层进行张网工艺，再将张网工艺后在支撑架上处于拉伸状态的膜层焊接到支撑架上以组装成一张完整的掩膜板，详见图1。

如图2所示，掩膜板的膜厚减薄区域L和H相关，具体地，为了确保蒸镀过程中蒸镀材料的利用率，需要保证θ处于一定的范围内，因此导致随着H减小，L也会相应的减小。但目前在G6H世代线(现有生产工艺线)上可实现的膜层Sheet1的厚度最薄能够达到100um，很难继续减薄，因此，受材料本身的影响，H的实现靠刻蚀工艺，最小值约20-30um，难以减小，也即L无法减小，进而导致显示面板的边框仍较大。

发明内容

有鉴于此，本公开的目的在于提供一种掩膜板及其制备方法，能够解决传统技术中掩膜板的膜厚减薄区域无法减小导致显示面板的边框仍较大的问题。

第一方面，本公开提供了一种掩膜板，其中，包括：

支撑架；

与所述支撑架贴合设置的第一膜层；

第二膜层，其设置在所述第一膜层远离所述支撑架的一侧，所述第二膜层的外边框不超出所述支撑架的外边框；

其中，所述第二膜层的厚度小于所述第一膜层的厚度。

在一种可能的实施方式中，所述第二膜层由多个第一子膜层组成，所述第一子膜层上设置有蒸镀孔，多个所述第一子膜层相互不重叠。

在一种可能的实施方式中，所述第一膜层的蒸镀孔的位置与所述第二膜层的蒸镀孔的位置对应，所述第一膜层的蒸镀孔大于或等于所述第二膜层的蒸镀孔。

在一种可能的实施方式中，所述第二膜层由多个第二子膜层组成，所述第二子膜层上未设置蒸镀孔，所述第二子膜层覆盖第一膜层中的非蒸镀孔区域。

在一种可能的实施方式中，第一方向上的每个第二子膜层与第二方向上的每个第二子膜层均存在重叠区域，所述第一方向和所述第二方向相互垂直。

在一种可能的实施方式中，所述第一子膜层设置在所述支撑架的第一焊接区域，所述第一膜层设置在所述支撑架的第二焊接区域，所述第一焊接区域和所述第二焊接区域相互独立。

在一种可能的实施方式中，所述第一焊接区域的支撑架其厚度大于所述第二焊接区域的支撑架的厚度。

第二方面，本公开还提供了一种掩膜板的制备方法，用于制造第一方面中任意所述的掩膜板，其包括：

在支撑架的第二焊接区域上张网第一膜层；

在所述第一膜层远离所述支撑架的一侧张网第二膜层，得到掩膜板，所述第二膜层的外边框不超出所述支撑架的外边框；

其中，所述第二膜层的厚度小于所述第一膜层的厚度。