[发明专利]钢瓶清洗系统和钢瓶清洗方法

说明书

本发明涉及钢瓶清洗技术领域，具体涉及一种钢瓶清洗系统和钢瓶清洗方法。所述钢瓶清洗系统包括残液回收单元、清洗单元和洁净组装单元，残液回收单元包括第一气源、第一真空泵和储液容器，第一真空泵具有第一真空泵进口和第一真空泵出口，第一气源和第一真空泵进口能够可切换地与钢瓶连通。清洗单元包括第二气源、清洗枪和清洗液泵，清洗枪具有清洗枪进口和清洗枪出口，第二气源和清洗液出口能够可切换地与清洗枪进口连通。洁净组装单元包括第三气源、第二真空泵和洁净间，第二真空泵具有第二真空泵进口和第二真空泵出口，第三气源和第二真空泵进口能够可切换地与钢瓶连通。根据本发明实施例的钢瓶清洗系统具有清洗操作简单和清洗速度快等优点。

技术领域

本发明涉及钢瓶清洗技术领域，具体涉及一种钢瓶清洗系统和钢瓶清洗方法。

背景技术

在半导体、生物医药、精细化工制造中，高纯气体是重要的制造过程原料之一，对气体的质量，例如纯度和颗粒物含量有很高的要求。例如，随着集成电路制造线宽逐步减小至纳米级，高纯气体应用于薄膜沉积等工艺，气体中的微颗粒会产生针孔短路，造成半导体的结构改变，从而使电路性能遭到破坏。

高纯气体的质量主要在于三个环节的质量控制：气体纯化制造端、储存运输端和应用端。其中，储存运输端是高纯物料的载体，连接着气体纯化制造端和应用端，承接着质量转移的属性，是关键核心环节。钢瓶的质量对所储存高纯物料的质量有直接的影响，若钢瓶的质量不能有效保证，则无法保证高纯物料质量属性的转移。

钢瓶由于操作不当或充装不纯物料时会受到污染，需要对钢瓶进行洁净清洗，此外，在进行钢瓶的检修时，也需要对钢瓶进行洁净清洗，钢瓶的清洗效果是否达标，直接影响钢瓶所储存的高纯物料的质量和钢瓶的使用寿命。

发明内容

本发明旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。

为此，本发明的实施例提出一种钢瓶清洗效果好的钢瓶清洗系统；

本发明的实施例还提出一种钢瓶清洗方法。

根据本发明实施例的钢瓶清洗系统包括：

残液回收单元，所述残液回收单元包括第一气源、第一真空泵和用于盛装残余物料的储液容器，所述第一真空泵具有第一真空泵进口和第一真空泵出口，所述第一气源和所述第一真空泵进口能够可切换地与钢瓶连通；

清洗单元，所述清洗单元包括第二气源、清洗枪和用于泵送清洗液的清洗液泵，所述清洗枪具有清洗枪进口和清洗枪出口，所述清洗液泵具有清洗液进口和清洗液出口，所述第二气源和所述清洗液出口能够可切换地与所述清洗枪进口连通，所述清洗枪出口能够伸入所述钢瓶的内部；以及

洁净组装单元，所述洁净组装单元包括第三气源、第二真空泵和用于容纳所述钢瓶的洁净间，所述第二真空泵具有第二真空泵进口和第二真空泵出口，所述第三气源和所述第二真空泵进口能够可切换地与所述钢瓶连通。

根据本发明实施例的钢瓶清洗系统具有清洗后的钢瓶洁净度高、清洗后的钢瓶寿命长、清洗操作简单和清洗速度快等优点。

在一些实施例中，所述残液回收单元进一步包括用于称量所述钢瓶的重量的称重设备。

在一些实施例中，进一步包括：用于将所述钢瓶翻转设定角度的钢瓶翻转机。

在一些实施例中，所述清洗液泵包括用于泵送水的水泵和用于泵送酸洗液的酸洗泵，所述水泵和所述酸洗泵中的每一者上设有所述清洗液进口和所述清洗液出口，所述水泵的清洗液出口和所述酸洗泵的清洗液出口能够可切换地与所述清洗枪进口连通。

在一些实施例中，所述清洗单元进一步包括加热器，所述加热器具有加热器进口和加热器出口，所述加热器出口与所述水泵的清洗液进口连通。

在一些实施例中，所述洁净组装单元进一步包括用于加热所述钢瓶的烘箱，所述烘箱位于所述洁净间内。