[发明专利]一种吸气/离子复合一体泵

权利要求书

1.一种吸气/离子复合一体泵，其特征是把吸气剂材料做成的合金板作为一体泵的核心部件；

包括吸气剂阴极板、阳极筒、外壳、电引入、绝缘件、强磁铁、连接管等配件；工作时，启动连接阳极筒的高压电源，在高压和磁场作用下造成气体分子的电离，促使气体离子高速运动，对吸气剂阴极板进行轰击，阴极表面氧化层被轰击后激活吸气剂材料，抽气系统进行正常工作状态。

2.根据权利要求1所述的一种吸气/离子复合一体泵，其特征是用吸气材料制备的板材作为阴极板，阴极板作为气体离子轰击的对象；吸气剂材料的激活无需其他形式，如烘烤、通电、射频、微波或者热辐射等。

3.根据权利要求1所述的一种吸气/离子复合一体泵，所采用的阴极板由吸气剂材料制成，其特征为多孔和抗振，其形状可根据气体离子轰击轨迹及系统尺寸设计成任何形状。

4.根据权利要求1所述的一种吸气/离子复合一体泵，其阴极板由非蒸散型吸气剂材料组成，非蒸散型吸气剂的材料至少包括钛、锆、钒、铁、钼、铝、钴以及稀土元素的一种或几种。

5.根据权利要求1所述的一种吸气/离子复合一体泵，其阳极筒采用非磁性不锈钢或者镍基合金。

6.根据权利要求1所述的一种吸气/离子复合一体泵，其特征在于阳极筒口正对吸气剂板，筒口与吸气剂板的之间的距离为4mm，吸气剂板贴在真空室外壳内测，磁铁与吸气剂板相对应贴在真空室外壳外侧。

7.根据权利要求4所述的一种吸气/离子复合一体泵，吸气剂材料由钛和钼元素烧结而成，质量分数分别为90%和10%。

8.根据权利要求5所述的一种吸气/离子复合一体泵，其阳极筒管壁厚度为0.4mm，外径为20mm，高度为13mm，各筒之间通过焊接组合在一起，筒组合成蜂窝状。

9.根据权利要求6所述的一种吸气/离子复合一体泵，其特征在于所述的吸气剂板有两个，尺寸相同，相对固定，厚度为1.5mm，方形和圆形均可。