[发明专利]一种具旋转舱体的封闭靶仓

权利要求书

1.一种具旋转舱体的封闭靶仓，其特征在于，包括舱体和溅射靶，所述溅射靶设于所述舱体的腔体内；所述舱体外还设有：门框、舱门、第一驱动装置和第二驱动装置，所述舱体上设有开口，所述门框设于所述开口上，所述第二驱动装置驱动所述舱门运动，以与门框相配合实现对所述舱体的关闭与打开；所述舱门与所述门框相对接时，所述舱体形成一密闭容器；所述第一驱动装置驱动所述舱体旋转。

2.根据权利要求1所述的具旋转舱体的封闭靶仓，其特征在于，所述第一驱动装置包括：一转动座及一第一电机，所述转动座可转动地连接于所述舱体顶部或底部，所述第一电机的动力输出轴连接于所述舱体上，驱动所述舱体旋转。

3.根据权利要求2所述的具旋转舱体的封闭靶仓，其特征在于，所述第二驱动装置包括：若干连杆和若干第二电机，每一所述连杆一端固定连接于所述舱门上，另一端连接于一第二电机的动力输出端，所述舱门在所述电机的驱动下前后运动。

4.根据权利要求3所述的具旋转舱体的封闭靶仓，其特征在于，所述第二电机和所述连杆的数量均为2，两所述连杆分别固定连接于所述舱门的上方和下方。

5.根据权利要求2所述的具旋转舱体的封闭靶仓，其特征在于，所述第二驱动装置为两伸缩气缸，每一伸缩气缸的活塞端固定连接于所述舱门上，所述舱门在所述伸缩气缸的作用下前后运动。

6.根据权利要求1-5任一项所述的具旋转舱体的封闭靶仓，其特征在于，所述门框的与所述舱门相对的一面上和/或所述舱门的与所述门框相对的一面上还设有密封槽，所述密封槽内设有密封胶圈。

7.根据权利要求6所述的具旋转舱体的封闭靶仓，其特征在于，所述门框为一矩形法兰，所述矩形法兰的内孔的长度大于所述溅射靶的靶材的高度，所述矩形法兰的内孔的宽度大于所述溅射靶的靶材的宽度。

8.根据权利要求1或7所述的具旋转舱体的封闭靶仓，其特征在于，所述溅射靶为一圆柱形靶或平面靶。

9.根据权利要求1所述的具旋转舱体的封闭靶仓，其特征在于，还包括一控制装置，所述控制装置与所述第一驱动装置和所述第二驱动装置通信连接。

10.一种实现对权利要求1-9任一项所述的具旋转舱体的封闭靶仓的操作方法，其特征在于，包括以下步骤：

当镀膜机的真空度达到溅射要求时，所述控制装置控制所述第二驱动装置，使其驱动所述舱门与所述门框相分离，此时所述舱体处于初始位；

所述控制装置控制所述第一驱动装置，使其驱动所述舱体转动180度后到达溅射位，进行溅射镀膜操作；

溅射镀膜操作结束后，所述控制装置再控制所述第一驱动装置，使其驱动所述舱体反方向转动180度返回初始位；

所述控制装置控制所述第二驱动装置，使其将所述舱门前推至与所述门框相对接。