[发明专利]一种12吋晶圆片摆臂固晶装置及使用方法

权利要求书

1.一种12吋晶圆片摆臂固晶装置，包括晶圆平台(7)、蓝膜放置及旋转机构、顶针平台、旋转支撑座、皮带张紧轴承(12)，所述晶圆平台(7)、蓝膜放置及旋转机构下方设置有顶针平台，蓝膜放置及旋转机构为带有一旋转机构蓝膜放置机构，其上放置有晶圆片(9)；其特征在于：所述晶圆平台(7)上固定安装有位于晶环主座(1)的晶环臂(2)，所述晶环臂(2)与第一晶环座(8)通过螺钉固定连接，所述晶环臂(2)下方安装有步进电机(5)，所述步进电机(5)输出轴穿过晶环臂(2)，所述步进电机输出轴上传动连接有皮带轮(10)，所述皮带轮(10)通过皮带(11)与晶环座齿轮传动连接，所述晶环座齿轮上安装有第二晶环座(3)，第二晶环座(3)上内套接有晶圆环(4)。

2.根据权利要求1所述一种12吋晶圆片摆臂固晶装置，其特征在于，所述晶圆平台(7)用于移动晶圆的前、后、左、右位置。

3.根据权利要求1所述一种12吋晶圆片摆臂固晶装置，其特征在于，所述第二晶环座(3)安装有调节静环座直径的弹簧扣(6)。

4.根据权利要求1所述一种12吋晶圆片摆臂固晶装置，其特征在于，所述晶环座齿轮和晶圆环直径相匹配。

5.根据权利要求1所述一种12吋晶圆片摆臂固晶装置，其特征在于，所述皮带轮(10)直径小于晶环座齿轮直径。

6.根据权利要求1所述一种12吋晶圆片摆臂固晶装置，其特征在于，所述晶环臂(2)与第一晶环座(8)之间设有台阶状结构。

7.一种12吋晶圆片摆臂固晶装置的使用方法，其特征在于，包括以下步骤，1)晶圆平台负责晶圆的前、后及左、右位置移动，2)晶圆放置于蓝膜放置及旋转机构位置，3)顶针平台的顶针负责把芯片从蓝膜放置及旋转机构中顶出，且与蓝膜分离，4)取晶相机负责确认要取芯片的位置，5)摆臂取晶固晶平台的取晶固晶头负责把芯片取起并转移后放置于收料平台的框架上，6)固晶相机负责放置位置确认，以及放置好后位置检测。