[发明专利]掩膜板组件及蒸镀设备

说明书

本申请提供一种掩膜板组件及蒸镀设备，以有效减少第一掩膜板产生褶皱的机率，有效避免边缘混色的产生。该掩膜板组件包括：框架、层叠设置于框架上的第一掩膜板和第二掩膜板；第一掩膜板包括多条沿第一方向设置的掩膜条，相邻的两个掩膜条之间设有间隙；第二掩膜板包括主体以及支撑条，支撑条包括多条沿第一方向的第一支撑条、以及多条沿第二方向设置的第二支撑条；其中，位于最外侧的第一支撑条的第一端以及位于最外侧的第二支撑条的第一端的宽度均由远离主体至靠近主体的方向逐渐递增，且第一支撑条对应于间隙设置。该蒸镀设备包括该掩膜板组件。

技术领域

本申请涉及显示产品制作技术领域，尤其涉及一种掩膜板组件及蒸镀设备。

背景技术

现有技术中，有机发光二极管(英文：Organic Light-Emitting Diode；简称：OLED)显示器是一种具有自主发光功能的显示器。OLED显示器以其厚度薄、重量轻、主动发光、响应速度快、视角广、色彩丰富、高亮度、低功耗以及耐高低温等优点广泛应用于显示行业。在OLED显示器的制造过程中，可以采用蒸镀机配合掩膜组件通过蒸镀的方式将OLED材料蒸镀在衬底基板上，以在衬底基板上形成有机发光图形得到阵列基板。

目前的掩膜组件通常包括：金属框架10’、精细金属掩膜板20’(英文：Fine MetalMask；简称：FMM)和遮挡金属掩膜板30’(英文：Full Mask sheet)。遮挡金属掩膜板作为显示屏幕遮挡工具，蒸镀方式通过其遮挡后蒸镀得到所需求的形状屏幕。精细金属掩膜板用于蒸镀发光层材料，在背板上形成像素图形；精细金属掩膜板包括多条精细金属掩膜条21’。

图1是手机类产品常用的遮挡金属掩膜板结构示意图；图2是手机类产品的精细金属掩膜板与遮挡金属掩膜板的对应关系示意图。图3是穿戴类产品常用的遮挡金属掩膜板结构示意图；图4是穿戴类产品的精细金属掩膜板与遮挡金属掩膜板的对应关系示意图。

由图1至图4所示，手类机产品宽度较大(5.1寸以上)，通常一条精细金属掩膜板条21’所对应遮挡金属掩膜板30’上的排布一列开口311’。而穿戴类产品如手表、手环等，由于直径或者宽度较小(1.2寸、1.39寸)，通常一条精细金属掩膜板条21’至少对应遮挡金属掩膜板30’上的排布两列开口311’。由于遮挡金属掩膜板上的支撑条的位置需要精细金属掩膜板条的宽度进行设置，以避免影响精细金属掩膜板的焊接工艺，造成混色风险，同时，穿戴类产品大多是圆形开口，按照现有遮挡金属掩膜板设计思路，遮挡金属掩膜板在张网完成后在模板的四角出现了局部褶皱。实际张网结果及模拟张网结果都能体现。在图3中的遮挡金属掩膜板30’的四角上的开口M’、开口N’、开口O’、以及开口P’的平整度测试结果如图5所示，该四个开口均产生局部褶皱，且局部褶皱已经达到了将近140μm，最大值出现在图3中标示的开口M’的圆圈m’、开口N’的圆圈n’、开口O’的圆圈o’、以及开口P’的圆圈p’内(均为最靠近模板的顶角的位置)。图6是遮挡金属掩膜板的模拟张网结果，同样可以看到在靠近模板的顶角的位置产生局部褶皱。

当遮挡金属掩膜板产生的褶皱较大时，可能会顶伤精细金属掩膜板，造成边缘混色。

发明内容

本申请提供一种掩膜板组件及蒸镀设备，通过设置掩膜板组件的具体结构，能够有效减少第一掩膜板产生褶皱的机率，有效避免边缘混色的产生。

根据本申请实施例的第一方面，提供一种掩膜板组件，其包括：框架、层叠设置于所述框架上的第一掩膜板和第二掩膜板，所述第一掩膜板位于所述第二掩膜板远离所述框架的一侧；

所述第一掩膜板包括多条沿第一方向设置的掩膜条，相邻的两个所述掩膜条之间设有间隙，每一所述掩膜条上设有呈阵列排列的多个像素开口；