[发明专利]废液处理装置和加工粉末回收装置

说明书

本发明提供废液处理装置和加工粉末回收装置，从附着板去除加工屑时不使附着板破损。将切削被加工物时所排出的包含加工屑的废液积存在水槽中，使附着板浸入废液内，将附着了加工屑的附着板取出，从废液去除加工屑，废液处理装置包含：保持部，其保持附着板；上下移动机构，其使保持部上下移动；和剥取机构，其从附着板剥取包含水分的加工屑，剥取机构具有：两个空气喷嘴，它们在水平方向上平行地隔开间隙而延伸，具有喷射口；阀，其配设在将两个空气喷嘴与空气源连通的配管上；和控制单元，在使附着板进入两个空气喷嘴之间的间隙中之后，当使附着板上升时打开阀，利用从喷射口对附着板的一个面和另一个面喷射的空气的风压以非接触的方式剥取加工屑。

技术领域

本发明涉及从废液中去除加工屑的废液处理装置和回收使被去除的加工屑干燥而得的加工粉末的加工粉末回收装置。

背景技术

在一边向加工点等提供磨削水一边利用磨削磨具对被加工物进行磨削的磨削加工中，将磨削所产生的磨削屑包含于磨削水而得的磨削废液贮存在如专利文献1所公开那样的废液处理装置的水槽中，在水槽内使磨削废液的磨削屑附着在附着板上，并将附着板从水槽内的磨削废液中取出，由此从磨削废液中去除磨削屑。在利用例如专利文献2所公开那样的加工液再生装置对去除了磨削屑的磨削废液进行再生之后，由磨削装置重新使用。

专利文献1所公开那样的废液处理装置在水槽中交替配置阴极板和阳极板，例如，如果被加工物是硅，则将阳极板作为附着板而使磨削废液内的硅屑附着。从水槽中提起附着了硅屑的阳极板，例如，如专利文献3所公开的那样，在用橡胶刮刀剥取附着在阳极板上的硅屑后，使阳极板再次浸入水槽中。

专利文献1：日本特开2014-124576号公报

专利文献2：日本特开2012-218134号公报

专利文献3：日本特开2016-049506号公报

如上所述，在从阳极板剥取硅屑时，硅屑附着于抵靠在阳极板上的橡胶刮刀上并干燥。而且，由于附着在橡胶刮刀上的硅屑干燥而固化，橡胶刮刀的弹力消失，而成为硬板。因此，利用硬板将附着在阳极板上的硅屑剥掉，有时会损伤阳极板而使阳极板破损。

另外，关于从阳极板剥取的硅屑，通过在使硅屑干燥后进行回收，例如能够作为负电极等的材料来使用。因此，将从阳极板剥取的包含水分的硅屑投入到硅回收装置中，在硅回收装置的干燥室内例如使用加热器等加热而使硅屑干燥或者利用投入到干燥室内的空气进行干燥，从而形成为硅粉。但是，存在硅回收装置的耗电量或空气消耗量大等问题。

发明内容

因此，本发明的目的在于，提供在从阳极板(附着板)去除硅屑等加工屑时不会使阳极板破损的废液处理装置。

另外，提供一种加工粉末回收装置，回收硅屑等加工屑并使硅屑干燥而形成为加工粉末(例如硅粉)，并且该加工粉末回收装置能够在减少耗电量或空气消耗量的同时高效地使加工屑干燥。

根据本发明的一个方面，提供一种废液处理装置，其将使用加工液和磨粒而对被加工物进行了切削时所排出的包含加工屑的废液积存在水槽中，使附着板浸入积存在该水槽中的该废液内，将附着了该加工屑的该附着板从该水槽中取出，由此从该废液中去除该加工屑，其中，该废液处理装置包含：保持部，其保持该附着板；上下移动机构，其使该保持部上下移动；以及剥取机构，其从该保持部所保持的该附着板剥取包含水分的该加工屑，该剥取机构具有：两个空气喷嘴，它们在水平方向上平行地隔开间隙而延伸，具有以彼此相对的方式形成的喷射口；阀，其配设在将两个该空气喷嘴与空气源连通的配管上；以及控制单元，其进行该阀的开闭的控制和用于使该附着板在两个该空气喷嘴之间的该间隙中沿上下方向移动的该上下移动机构的控制，在使该保持部所保持的该附着板进入平行的两个该空气喷嘴之间的该间隙中之后，在使该附着板上升时打开该阀，利用从该喷射口对该附着板的一个面和另一个面喷射的空气的风压，以非接触方式剥取附着在该附着板上的该加工屑。