[发明专利]液体处理装置及液体处理方法

权利要求书

1.一种液体处理装置，用于处理第一样本和第二样本，其具备：

用于容纳所述第一样本的多个第一槽孔；

第一流路，与所述多个第一槽孔连接；

用于容纳所述第二样本的多个第二槽孔；

第二流路，与所述多个第二槽孔连接；

用于容纳处理剂的多个处理剂槽孔，所述处理剂用于处理所述第一样本和所述第二样本；

处理剂流路，与所述多个处理剂槽孔连接；以及

共用流路，与所述第一流路、所述第二流路及所述处理剂流路连接。

2.如权利要求1所述的液体处理装置，其中，

所述共用流路的一侧端部与所述第一流路的一侧端部、所述第二流路的一侧端部以及所述处理剂流路的一侧端部连接。

3.如权利要求1或2所述的液体处理装置，其还具备：

多个第一阀，分别配置在所述多个第一槽孔与所述第一流路之间；

多个第二阀，分别配置在所述多个第二槽孔与所述第二流路之间；以及

多个处理剂阀，分别配置在所述多个处理剂槽孔与所述处理剂流路之间。

4.如权利要求1～3中任一项所述的液体处理装置，其中，

所述多个第一阀、所述多个第二阀及所述多个处理剂阀是旋转隔膜阀。

5.如权利要求4所述的液体处理装置，其中，

所述多个第一阀和所述多个第二阀配置在第一圆的圆周上，

所述多个处理剂阀配置在与所述第一圆同心的第二圆的圆周上。

6.如权利要求1～5中任一项所述的液体处理装置，其中，

还包括与所述共用流路连接的旋转隔膜泵。

7.如权利要求1～6中任一项所述的液体处理装置，其中，

所述液体处理装置具备：

基板，包括多个槽和多个通孔；以及

薄膜，以封住所述多个槽的开口部和所述多个通孔的开口部的方式与所述基板接合，

所述第一流路、所述第二流路、所述处理剂流路及所述共用流路由所述多个槽和封住所述多个槽的开口部的所述薄膜构成，

所述多个第一槽孔、所述多个第二槽孔及所述多个处理剂槽孔由所述多个通孔和封住所述多个通孔的开口部的所述薄膜构成，

所述薄膜是多层结构的薄膜。

8.一种液体处理方法，使用权利要求1～7中任一项所述的液体处理装置对第一样本和第二样本进行处理，其具有如下工序：

向所述多个第一槽孔中的一个第一槽孔提供第一样本的工序；

向所述多个第二槽孔中的一个第二槽孔提供第二样本的工序；

从所述多个处理剂槽孔中的一个处理剂槽孔，将处理剂经由所述处理剂流路、所述共用流路及所述第一流路移动至已被提供所述第一样本的所述第一槽孔的工序；

在从已被提供所述第一样本的所述第一槽孔，将含有所述第一样本的液体移动至所述第一流路后，将所述第一流路内的含有所述第一样本的液体移动至所述多个第一槽孔中的一个第一槽孔的工序；

从所述多个处理剂槽孔中的一个处理剂槽孔，将处理剂经由所述处理剂流路、所述共用流路及所述第二流路移动至已被提供所述第二样本的所述第二槽孔的工序；以及

在从已被提供所述第二样本的所述第二槽孔，将含有所述第二样本的液体移动至所述第二流路后，将所述第二流路内的含有所述第二样本的液体移动至所述多个第二槽孔中的一个第二槽孔的工序。