[发明专利]炉门组件及真空设备

说明书

本发明涉及一种炉门组件及真空设备。该炉门组件用于关闭或打开炉口，包括：炉门；连接板，活动连接于炉门的一侧，连接板被配置为可带动炉门关闭或打开炉口；及弹性件，设置于炉门与连接板之间，以提供使得炉门朝向连接板远离的运动趋势的弹力。与现有技术相比，本发明的炉门组件在接触到真空腔体的炉口处时可以自适应调节炉门与真空腔体的炉口处的接触面的平行度，进而达到较好的密封效果，降低了炉口与炉门密封不佳带到的漏气风险，大大提高设备的可靠性，且避免了关门轨道与炉口密封面的垂直度调试环节，有利于降低炉门的安装精度，提高了安装效率。

技术领域

本发明涉及PECVD设备技术领域，特别是涉及一种炉门组件及真空设备。

背景技术

PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition，等离子体增强化学气相淀积)设备在使用时，其真空腔体需要达到规定的真空度之后才能进入工艺步序。如此，炉门组件与真空腔体的密封性尤其重要。现有技术中，由于炉门组件和真空腔体炉口处的法兰的密封面很难保证平行度，需要反复调试关门轨道与法兰密封面的垂直度，才能使得炉门组件与法兰面密封连接，不仅费时费力还存在漏气风险，导致设备运行可靠性低。

发明内容

基于此，有必要针对现有技术中炉门和法兰的密封面平行度难以满足工艺要求，且调试难度大、时间长，导致设备可靠性低的问题，提供一种改善上述缺陷的炉门组件及真空设备。

一种炉门组件，用于关闭或打开炉口，所述炉门组件包括：

炉门；

连接板，活动连接于所述炉门的一侧，所述连接板被配置为可带动所述炉门关闭或打开所述炉口；及

弹性件，设置于所述炉门与所述连接板之间，以提供使得所述炉门朝向所述连接板远离的运动趋势的弹力。

在其中一个实施例中，所述连接板与所述炉门之间的间隙小于或等于5mm。

在其中一个实施例中，所述炉门组件还包括连接柱，所述炉门和所述连接板的其中之一具有导向孔，所述连接柱穿设于所述导向孔，且所述连接柱具有第一端，所述第一端固定连接于所述炉门和所述连接板的其中之另一；

所述导向孔与所述连接柱之间具有间隙。

在其中一个实施例中，所述连接柱还包括与所述第一端相对的第二端，所述第一端和所述第二端分别位于所述导向孔的相对两端，且所述第二端具有限位凸台，所述限位凸台的径向尺寸大于所述导向孔的径向尺寸。

在其中一个实施例中，所述第一端与所述炉门或所述连接板螺纹连接。

在其中一个实施例中，所述弹性件的一端与所述连接板和所述炉门的其中之一固接，所述弹性件的另一端与所述连接板和所述炉门的其中之另一抵接。

在其中一个实施例中，所述弹性件为弹性柱塞。

在其中一个实施例中，所述连接柱的数量和所述弹性件的数量均为多个；

多个所述连接柱沿所述连接板的周向均匀布设，多个所述弹性件沿所述连接板的周向均匀布设。

在其中一个实施例中，所述炉门背离所述连接板的一侧设置有密封圈，所述密封圈用于与所述炉口密封连接。

在其中一个实施例中，所述炉门组件还包括驱动机构，所述驱动机构与所述连接板传动连接，用于驱动所述连接板带动所述炉门关闭或打开所述炉口。

另外，还提供了一种真空设备，包括上述任一实施例中所述的炉门组件。