[发明专利]MEMS陀螺仪

权利要求书

1.一种MEMS陀螺仪，其特征在于，包括换能器、锚点结构、谐振环和设置于所述谐振环与所述锚点结构之间的若干质量块，所述锚点结构与所述质量块之间通过弹性组件相连接，所述弹性组件能够提供所述质量块沿所述谐振环径向方向的回复力，所述质量块与所述谐振环之间通过第一弹性件相连接，所述第一弹性件能够提供所述谐振环沿所述谐振环周向方向的回复力，使所述谐振环与所述质量块之间发生沿周向方向的相对位移；

所述质量块关于所述MEMS陀螺仪的中心呈圆周分布，且所述质量块关于所述中心旋转对称，所述质量块的个数为8的整数倍；

所述换能器关于所述中心呈圆周分布，且所述换能器关于所述中心旋转对称，所述换能器的个数为8的整数倍。

2.根据权利要求1所述的MEMS陀螺仪，其特征在于，所述MEMS陀螺仪工作于全角模式或力平衡模式下。

3.根据权利要求1所述的MEMS陀螺仪，其特征在于，所述谐振环位于所述质量块的外侧，所述锚点结构位于所述质量块的内侧；或者所述谐振环位于所述质量块的内侧，所述锚点结构位于所述质量块的外侧。

4.根据权利要求1所述的MEMS陀螺仪，其特征在于，所述质量块包括分别位于(i-1)*45°，i＝1,3,5,7，方位角处的四个第一质量块以及分别位于(i-1)*45°，i＝2,4,6,8，方位角处的四个第二质量块。

5.根据权利要求4所述的MEMS陀螺仪，其特征在于，所述质量块还包括分别位于22.5°+(i-1)*45°，i＝1,2,…,8，方位角处的八个第三质量块。

6.根据权利要求1所述的MEMS陀螺仪，其特征在于，所述锚点结构为内部具有空腔的环形结构。

7.根据权利要求6所述的MEMS陀螺仪，其特征在于，所述锚点结构的靠近所述质量块一侧的形状关于所述中心旋转对称。

8.根据权利要求7所述的MEMS陀螺仪，其特征在于，所述锚点结构的靠近所述质量块一侧的形状为圆环形，所述质量块为扇环形。

9.根据权利要求1所述的MEMS陀螺仪，其特征在于，所述弹性组件包括靠近所述锚点结构的第二弹性件和靠近所述谐振环的第三弹性件，所述第二弹性件和所述第三弹性件均固定于所述锚点结构。

10.根据权利要求9所述的MEMS陀螺仪，其特征在于，所述第二弹性件的数量为2个，两所述第二弹性件分别位于所述质量块的靠近所述锚点结构的一端的两侧；所述第三弹性件的数量为2个，两所述第三弹性件分别位于所述质量块的靠近所述谐振环的一端的两侧。

11.根据权利要求9所述的MEMS陀螺仪，其特征在于，所述第二弹性件和所述第三弹性件均为沿所述径向方向延伸的第一梳齿状弹簧。

12.根据权利要求11所述的MEMS陀螺仪，其特征在于，所述第一弹性件为沿所述周向方向延伸的第二梳齿状弹簧。

13.根据权利要求1所述的MEMS陀螺仪，其特征在于，所述换能器包括设置于所述谐振环的远离所述质量块的一侧的第一电极组件、设置于所述谐振环上的第二电极组件、设置于所述质量块上的第三电极组件、设置于相邻所述质量块之间的第四电极组件和设置于所述质量块与所述谐振环之间的第五电极组件中的一种、两种或两种以上。