[发明专利]一种晶体生长方法及装置

权利要求书

1.一种晶体生长方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：

（1）准备阶段：将组装后的坩埚置于炉体内，炉体外套设有石英管，所述石英管由内向外依次包括石英管内层、夹层和石英管外层；所述夹层内设置有喷液板，所述喷液板上开设有多个第一喷液口；所述石英管内层开设有与多个第一喷液口对应设置的多个第二喷液口；

（2）长晶阶段：控制晶体的生长；

（3）降温阶段：控制喷液板转动，使得所述第一喷液口和第二喷液口至少部分重合，冷却液经第一喷液口和第二喷液口喷射到炉体上。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤（3）中，所述降温阶段中，控制喷液板转动，使得所述第一喷液口和第二喷液口从部分重合至完全重合。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，部分重合的面积为第二喷液口开口面积的30~80%。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，部分重合的面积为第二喷液口开口面积的40~70%。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤（3）中，所述降温阶段包括以下步骤：

1）第一降温阶段：控制第一喷液口和第二喷液口从第一次部分重合转动至完全重合，第一次部分重合的面积为第二喷液口开口面积的30~60%，使得炉体内温度降至900~1100℃；

2）第二降温阶段：控制第一喷液口和第二喷液口从完全重合至第二次部分重合，第二次部分重合的面积为第二喷液口开口面积的50~80%，使得炉体内温度降至400~600℃；

3）第三降温阶段：控制第一喷液口和第二喷液口从第二次部分重合至完全重合，使得炉体内温度降至室温。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述第一降温阶段中，第一次部分重合的面积为第二喷液口开口面积的40%~50%。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述第二降温阶段中，第二次部分重合的面积为第二喷液口开口面积的60~70%。

8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述第一降温阶段、第二降温阶段和/或第三降温阶段中所述转动的速率为1~50°/h。

9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，所述第一降温阶段、第二降温阶段和/或第三降温阶段中所述转动的速率为5~20°/h。

10.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述冷却液选自冷却水、乙醇溶液、乙二醇溶液和丙二醇溶液中的至少一种。

11.根据权利要求10所述的方法，其特征在于，所述冷却液为乙二醇溶液。

12.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤（3）中，所述降温阶段中，还包括控制炉体的转动。

13.根据权利要求12所述的方法，其特征在于，所述炉体转动的速率为0.1~50r/h。

14.根据权利要求13所述的方法，其特征在于，所述炉体转动的速率为1~30r/h。

15.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤（2）中，所述长晶阶段中，还包括控制所述第一喷液口和第二喷液口部分重合。

16.根据权利要求15所述的方法，其特征在于，所述第一喷液口和第二喷液口部分重合的面积为第二喷液口开口面积的30~60%。

17.根据权利要求16所述的方法，其特征在于，所述第一喷液口和第二喷液口部分重合的面积为第二喷液口开口面积的40%~50%。