[发明专利]碳纳米管阴极的制作方法、碳纳米管阴极及电子设备在审
申请号: | 202110251702.7 | 申请日: | 2021-03-08 |
公开(公告)号: | CN113517164A | 公开(公告)日: | 2021-10-19 |
发明(设计)人: | 洪序达;贺思如;梁栋;郑海荣 | 申请(专利权)人: | 中国科学院深圳先进技术研究院 |
主分类号: | H01J9/02 | 分类号: | H01J9/02;H01J1/304 |
代理公司: | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人: | 黎坚怡 |
地址: | 518055 广东省深圳*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 纳米 阴极 制作方法 电子设备 | ||
1.一种碳纳米管阴极的制作方法,其特征在于,所述方法包括:
提供一导电基板;
对所述导电基板进行表面处理,以在所述导电基板的表面形成凹陷结构;
利用所述碳纳米管浆料在所述导电基板的所述表面形成碳纳米管层,以形成所述碳纳米管阴极。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,
所述对所述导电基板进行表面处理,以在所述导电基板的表面形成凹陷结构,包括:
对所述导电基板进行清洁操作;
将清洁操作之后的所述导电基板置于碱溶液中,以在所述导电基板的表面形成凹陷结构。
3.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,
所述对所述导电基板进行清洁操作,包括:
对所述导电基板进行超声操作;
采用乙醇对超声操作之后的所述导电基板进行清洗操作;
对清洗操作之后的所述导电基板进行干燥操作。
4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,
所述方法还包括:
将碳纳米管、球磨珠、粘结剂和金属粉加入到球磨溶剂中,以对所述碳纳米进行球磨操作,形成所述碳纳米管浆料。
5.根据权利要求4所述的方法,其特征在于,
所述将碳纳米管、球磨珠、粘结剂和金属粉加入到球磨溶剂中,以对所述碳纳米进行球磨操作,形成所述碳纳米管浆料,包括:
将所述碳纳米管、球磨珠加入到所述球磨溶剂中,进行球磨操作,以得到初级浆料;
将所述粘结剂加入到所述初级浆料中,进行球磨操作,以得到中间浆料;
将所述金属粉加入到所述中间浆料中,进行球磨操作,以得到所述碳纳米管浆料。
6.根据权利要求4所述的方法,其特征在于,
所述金属粉为钛粉或铝粉中的一种。
7.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,
所述利用所述碳纳米管浆料在所述导电基板的所述表面形成碳纳米管层,以形成所述碳纳米管阴极,包括:
利用丝网印刷技术在所述导电基板的所述表面印刷所述碳纳米管浆料,以形成所述碳纳米管阴极。
8.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,
所述利用所述碳纳米管浆料在所述导电基板的所述表面形成碳纳米管层,以形成所述碳纳米管阴极之后,所述方法还包括:
将所述碳纳米管阴极置于第一预设温度的真空环境中进行加热,并维持第一预设时间;
将所述真空环境的温度升高至第二预设温度,并维持第二预设时间,以得到加热后的所述碳纳米管阴极。
9.根据权利要求8所述的方法,其特征在于,
所述方法还包括:
去除所述加热后的所述碳纳米管阴极表面的碳化物。
10.一种碳纳米管阴极,其特征在于,所述碳纳米管冷阴极通过权利要求1~9的制备方法制成。
11.一种电子设备,其特征在于,所述电子设备包括权利要求10所述的碳纳米管阴极。
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