[发明专利]金属掩膜板及显示面板在审
| 申请号： | 202110250935.5 | 申请日： | 2021-03-08 |
| 公开（公告）号： | CN113025957A | 公开（公告）日： | 2021-06-25 |
| 发明（设计）人： | 李静静;范柳彬;郑小红;杨泽明 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56;H01L27/32 |
| 代理公司： | 成都极刻智慧知识产权代理事务所(普通合伙) 51310 | 代理人： | 唐维虎 |
| 地址： | 215000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 金属 掩膜板 显示 面板 | ||
1.一种金属掩膜板，其特征在于，所述金属掩膜板包括：
第一掩模区域，所述第一掩模区域包括图形区域；
分别位于所述第一掩模区域的延伸方向两侧的第二掩模区域，其中，所述第一掩模区域和所述第二掩模区域之间通过切割线区分；
第一应力辅助分散区，所述第一应力辅助分散区位于所述第二掩模区域内；
第二应力辅助分散区，所述第二应力辅助分散区位于所述图形区域与所述切割线之间。
2.根据权利要求1所述的金属掩膜板，其特征在于，所述第一应力辅助分散区平行于所述切割线方向上的宽度与所述金属掩膜板平行于所述切割线方向上的宽度的比值范围为85％～99％。
3.根据权利要求1所述的金属掩膜板，其特征在于，所述第二应力辅助分散区平行于所述切割线方向上的宽度与所述金属掩膜板平行于所述切割线方向上的宽度的比值范围为90％～99％。
4.根据权利要求1所述的金属掩膜板，其特征在于，所述第二应力辅助分散区平行于所述切割线方向上的宽度大于所述图形区域平行于所述切割线方向上的宽度。
5.根据权利要求1所述的金属掩膜板，其特征在于，所述第二应力辅助分散区垂直于所述切割线方向上的宽度为6～10um。
6.根据权利要求1所述的金属掩膜板，其特征在于，所述图形区域平行于所述切割线方向上的宽度与所述金属掩膜板平行于所述切割线方向上的宽度的比值范围为89.5％～98.5％。
7.根据权利要求1所述的金属掩膜板，其特征在于，所述第一应力辅助分散区与所述切割线之间距离范围为4～6mm。
8.根据权利要求1所述的金属掩膜板，其特征在于，所述第二应力辅助分散区与所述切割线之间距离范围为8～12mm。
9.根据权利要求1-8中任意一项所述的金属掩膜板，其特征在于，所述第二应力辅助分散区与所述图形区域采用相同的刻蚀图案。
10.一种显示面板，其特征在于，包括采用权利要求1-9中任意一项所述的金属掩膜板的图形区域进行像素蒸镀而成的像素单元。
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