[发明专利]一种LSPR多波长窄带可调谐传感器有效
| 申请号： | 202110248083.6 | 申请日： | 2021-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN113030026B | 公开（公告）日： | 2022-11-04 |
| 发明（设计）人： | 刘菲;秦璐 | 申请（专利权）人： | 天津理工大学 |
| 主分类号： | G01N21/552 | 分类号： | G01N21/552 |
| 代理公司： | 天津耀达律师事务所 12223 | 代理人： | 张耀 |
| 地址： | 300384 *** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 lspr 波长 窄带 调谐 传感器 | ||
【权利要求书】：
1.一种LSPR多波长窄带可调谐传感器，其特征是：从下到上依次为硅衬底、SiO2膜、Al2O3膜、石墨烯薄膜，石墨烯薄膜上具有由金纳米颗粒组成的E字形周期排列，周期P为1500nm；
上述E字形外长度t1=600nm，两个开口之间的宽度t2=120nm，开口长度t3=440nm，厚度h=30nm；
通过施加偏置电压或化学掺杂来改变石墨烯的费米能级，进而改变它的电导率，从而实现光谱的动态可调谐。
2.根据权利要求1所述的LSPR多波长窄带可调谐传感器，其特征是：硅衬底上覆盖的SiO2膜厚度为T2=1600nm。
3.根据权利要求1所述的LSPR多波长窄带可调谐传感器，其特征是：SiO2膜上覆盖的Al2O3膜厚度为T1=2200nm。
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