[发明专利]一种外延设备监测方法和相应的外延设备监测装置

权利要求书

1.一种外延设备监测方法，其特征在于，所述外延设备包括反射屏和加热元件，所述方法包括：

确定所述外延设备的当前工作状态；

若所述当前工作状态为预设工作状态，则获取在所述当前工作状态下的所述加热元件的实际功率信息；

根据所述实际功率信息判断所述反射屏是否损坏。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述预设工作状态包括外延状态和蚀刻状态，所述若所述当前工作状态为预设工作状态，则获取在所述当前工作状态下的所述加热元件的实际功率信息，包括：

若所述当前工作状态为所述外延状态，则获取在所述外延状态下的所述加热元件的所述实际功率信息；

或，

若所述当前工作状态为所述蚀刻状态，则获取在所述蚀刻状态下的所述加热元件的所述实际功率信息。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述获取在所述当前工作状态下的所述加热元件的实际功率信息，包括：

在所述当前工作状态下，记录所述加热元件的功率值，并在所述加热元件的功率值每发生一次变化后，记录变化后的功率值；

若所述外延设备结束所述当前工作状态，则根据所记录的所有功率值确定在所述当前工作状态下的所述加热元件的所述实际功率信息。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述根据所述实际功率信息判断所述反射屏是否损坏，包括：

获取与所述当前工作状态对应的预设功率信息；

比较所述实际功率信息和所述预设功率信息，确定功率差异信息；

根据所述功率差异信息判断所述反射屏是否损坏。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述根据所记录的所有功率值确定在所述当前工作状态下的所述加热元件的所述实际功率信息，包括：

计算所述所记录的所有功率值的平均功率值，并将所述平均功率值作为在所述当前工作状态下的所述加热元件的所述实际功率信息。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述预设功率信息为预设功率阈值，所述比较所述实际功率信息和所述预设功率信息，确定功率差异信息，包括：

比较所述平均功率值和所述预设功率阈值，确定所述功率差异值。

7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

若判断所述反射屏发生损坏，则控制所述外延设备发出报警信息，以提醒用户对所述反射屏进行维护。

8.一种外延设备监测装置，其特征在于，所述外延设备包括反射屏和加热元件，所述装置包括：

确定模块，用于确定所述外延设备的当前工作状态；

实际功率信息获取模块，用于若所述当前工作状态为预设工作状态，则获取在所述当前工作状态下的所述加热元件的实际功率信息；

判断模块，用于根据所述实际功率信息判断所述反射屏是否损坏。

9.根据权利要求8所述的装置，其特征在于，所述预设工作状态包括外延状态和蚀刻状态，所述实际功率信息获取模块，包括：

实际功率信息获取子模块，用于若所述当前工作状态为所述外延状态，则获取在所述外延状态下的所述加热元件的所述实际功率信息；或，若所述当前工作状态为所述蚀刻状态，则获取在所述蚀刻状态下的所述加热元件的所述实际功率信息。

10.根据权利要求8所述的装置，其特征在于，所述实际功率信息获取模块，包括：

记录子模块，用于在所述当前工作状态下，记录所述加热元件的功率值，并在所述加热元件的功率值每发生一次变化后，记录变化后的功率值；

确定子模块，用于若所述外延设备结束所述当前工作状态，则根据所记录的所有功率值确定在所述当前工作状态下的所述加热元件的所述实际功率信息。

11.根据权利要求10所述的装置，其特征在于，所述判断模块，包括：

预设功率信息获取子模块，用于获取与所述当前工作状态对应的预设功率信息；

比较子模块，用于比较所述实际功率信息和所述预设功率信息，确定功率差异信息；

判断子模块，用于根据所述功率差异信息判断所述反射屏是否损坏。