[发明专利]一种激光探测集成电路内部电平状态的系统

权利要求书

1.一种激光探测集成电路内部电平状态的系统，其特征在于，包括：连续激光器(1)、光学模块(2)、物镜(3)、三维移动台(5)、测试机(6)、光电探测器(7)、放大器(8)、信号分离器(9)、信号提取器(10)、控制计算机(11)、移动台控制箱(12)；

所述连续激光器(1)通过自由空间光路(13)或保偏光纤(14)与所述光学模块(2)连接；所述光学模块(2)通过自由空间光路(13)与所述三维移动台(5)连接，所述光学模块(2)和所述三维移动台(5)中间设有物镜(3)；所述三维移动台(5)上的被测器件(4)与所述测试机(6)连接，所述测试机(6)与所述信号提取器(10)连接；

所述光学模块(2)与所述控制计算机(11)连接；所述控制计算机(11)通过所述移动台控制箱(12)与所述三维移动台(5)连接；

所述光学模块(2)依次与所述光电探测器(7)、放大器(8)和信号分离器(9)连接，所述信号分离器(9)分别与所述信号提取器和所述控制计算机(11)连接；所述信号提取器(10)与所述控制计算机(11)连接；

信号分离器(9)输出两路信号包括直流分量DC和交流分量AC；直流分量DC是表示被测器件(4)反射率的电压信号，该电压信号被发送到控制计算机(11)，控制计算机(11)接收到直流分量DC后通过移动台控制箱(11)控制三维移动台(5)调整被测器件(4)的位置，直至直流分量DC电压信号最强，这时被测器件(4)被调整到后续激光探测的最佳位置；

交流分量AC表示激光探测的芯片内部电平信号，交流分量AC传输到信号提取器（10），信号提取器（10）提取电平信号；信号提取器（10）被控制计算机（11）控制，信号提取器（10）提取到的电平信号被发送到控制计算机（11）；控制计算机（11）提供一个简单可编程的操作界面，便于设备使用者更好地控制整个装置。

2.根据权利要求1所述的激光探测集成电路内部电平状态的系统，其特征在于，所述连续激光器(1)采用固体激光器、半导体激光器或光纤激光器；

所述连续激光器(1)用于提供探测用的连续激光，所述连续激光的波长采用小于1100nm的侵入性波长或大于1100nm的非侵入性波长。

3.根据权利要求1所述的激光探测集成电路内部电平状态的系统，其特征在于，所述物镜(3)采用气隙物镜、液体浸没物镜或固体浸没透镜物镜。

4.根据权利要求1所述的激光探测集成电路内部电平状态的系统，其特征在于，所述光学模块(2)包括探测成像系统(2.1)和半透半反控制器(2.2)；所述探测成像系统(2.1)包括：分光棱镜、光功率计、光隔离器、偏振分束棱镜、1/8波片、半透半反镜、照明光源、准直透镜组、聚焦透镜、分束镜、成像透镜和红外相机；

沿所述连续激光器(1)发出的激光光路依次设置有所述分光棱镜、光隔离器、偏振分束棱镜、1/8波片和所述半透半反镜，所述半透半反镜通过物镜(3)与所述被测器件(4)连接；所述分光棱镜还与所述光功率计连接，所述偏振分束棱镜还通过所述聚焦透镜与所述光电探测器(7)连接；所述半透半反镜与所述分束镜连接；所述分束镜通过所述准直透镜组与所述照明光源连接，所述分束镜通过所述成像透镜与所述红外相机相连。

5.根据权利要求1所述的激光探测集成电路内部电平状态的系统，其特征在于，所述光电探测器(7)采用PIN二极管或雪崩光电二极管APD。

6.根据权利要求1所述的激光探测集成电路内部电平状态的系统，其特征在于，所述放大器(8)采用跨阻放大器。

7.根据权利要求1所述的激光探测集成电路内部电平状态的系统，其特征在于，所述信号分离器(9)采用偏置三通。

8.根据权利要求1所述的激光探测集成电路内部电平状态的系统，其特征在于，所述信号提取器(10)采用是频谱分析仪和锁相放大器来提取电平信号。