[发明专利]一种复合涂层、制备方法及器件

权利要求书

1.一种复合涂层，其特征在于，所述复合涂层包括沉积于基材上的涂层Ⅰ和涂层Ⅱ，

所述涂层Ⅰ由包含单体α和单体β的等离子体形成的等离子体聚合涂层；

所述涂层Ⅱ由所述涂层Ⅰ接触包含单体γ的等离子体，从而在涂层Ⅰ上形成的等离子体聚合涂层；

所述单体α具有式(1-1)所示的结构，

其中，Ar为带芳环的结构，T₁为-O-C(O)-或-C(O)-O-，X₁为连接部分，Y₁为连接部分，R₁、R₂和R₃分别独立的选自为氢原子、卤素原子、C₁-C₁₀的烷基或C₁-C₁₀的卤原子取代烷基；

所述单体β具有式(2-1)所示的结构，

其中，S中含有一个以上的-O-C(O)-或-C(O)-O-，R₄、R₅、R₆、R₇、R₈和R₉分别独立的选自为氢原子、卤素原子、C₁-C₁₀的烷基或C₁-C₁₀的卤原子取代烷基；

所述单体γ具有式(3-1)所示的结构，

其中，Z为连接部分，R₁₀、R₁₁和R₁₂分别独立的选自于氢原子、卤素原子、C₁-C₁₀的烃基或C₁-C₁₀的卤原子取代烃基，x为1-20的整数。

2.根据权利要求1所述的复合涂层，其特征在于，所述R₁、R₂、R₃、R₄、R₅、R₆、R₇、R₈、R₉、R₁₀、R₁₁和R₁₂分别独立的选自于氢原子或甲基。

3.根据权利要求1所述的复合涂层，其特征在于，所述X₁为下式(1-2)所示的结构，

＊-X₁₁-X₁₂-＊

(1-2)

其中，X₁₁为连接键、-O-或-C(O)-，X₁₂为连接键、C₁-C₁₀的亚烷基或C₁-C₁₀的卤原子取代亚烷基；

所述Y₁为连接键、C₁-C₁₀的亚烷基或C₁-C₁₀的卤原子取代亚烷基。

4.根据权利要求1所述的复合涂层，其特征在于，所述Ar为苯环结构或带有取代基的苯环结构。

5.根据权利要求4所述的复合涂层，其特征在于，所述单体α具有式(1-3)所示的结构，

其中，T₂为-O-C(O)-或-C(O)-O-，X₂为连接部分，Y₂为连接部分；

R₁₃、R₁₄和R₁₅分别独立的选自为氢原子、卤素原子、C₁-C₁₀的烷基或C₁-C₁₀的卤原子取代烷基。