[发明专利]薄膜太阳能电池使用的AZO靶材晶粒尺度的制备方法

权利要求书

1.薄膜太阳能电池使用的AZO靶材晶粒尺度的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1，湿法磨粉：在搅拌球磨机中加入一定量的研磨球、SDN6800湿法球磨用分散剂和一定比例的去离子水，并在搅拌球磨机中加入纯度大于99.95％氧化锌粉和纯度大于99.95％氧化铝粉进行混合搅拌，搅拌数小时后加入聚乙烯醇粘结剂水溶液持续搅拌得到氧化锌铝混合粉浆料；

S2，混合粉浆料干燥制粒：在搅拌研磨机控制系统中设定研磨时间，把研磨好的氧化锌铝粉浆料倒入喷雾储料干燥装置中，然后运行喷雾雾化干燥造粒设备，制备出氧化锌铝球形粉；

S3，冷等静压氧化锌铝靶材成形：将制成的氧化锌铝球形粉填入装配好的专用橡胶模具内，并把橡胶模具放置在专用模具框中，用吊装机械装置把模具框吊入冷等静压液压缸中静压成形；

S4，氧化锌铝靶材脱离橡胶模：先从冷等静压液压缸中吊出模具框，并从模具框里取出模具，最后从模具中取出成形后的毛坯氧化锌铝靶材；

S5，精整形：成形后的毛坯氧化锌铝靶材装夹在精整形车床上，精整形规格尺寸根据用户所需尺寸要求定制；

S6，烧结致密：精整形的氧化锌铝靶材放置在烧结炉装料平台上，其氧化锌铝靶材距离烧结炉加热元件大于等于35mm，氧化锌铝靶材间距大于等于5mm，烧结炉控制系统设定分段烧结温度和时间，烧结炉加热排胶和烧结两个过程依次在同一个炉子完成。

2.根据权利要求1所述的薄膜太阳能电池使用的AZO靶材晶粒尺度的制备方法，其特征在于，所述步骤S1中的研磨球为氧化锆球。

3.根据权利要求1所述的薄膜太阳能电池使用的AZO靶材晶粒尺度的制备方法，其特征在于，所述步骤S1中的研磨球与去离子水重量比例范围为(2.5～2)：(1～1.5)。

4.根据权利要求1所述的薄膜太阳能电池使用的AZO靶材晶粒尺度的制备方法，其特征在于，所述步骤S1中的氧化锌粉和氧化铝粉的重量比例范围为(97～99.5)：(3～0.5)。

5.根据权利要求1所述的薄膜太阳能电池使用的AZO靶材晶粒尺度的制备方法，其特征在于，所述步骤S1中的氧化锌粉和氧化铝粉的研磨时间范围为3h～6h。

6.根据权利要求1所述的薄膜太阳能电池使用的AZO靶材晶粒尺度的制备方法，其特征在于，所述步骤S2中的氧化锌铝球形粉的大小范围为80目～120目。

7.根据权利要求1所述的薄膜太阳能电池使用的AZO靶材晶粒尺度的制备方法，其特征在于，所述步骤S3中的等静压成形压力范围为150MPa～250Mpa。

8.根据权利要求1所述的薄膜太阳能电池使用的AZO靶材晶粒尺度的制备方法，其特征在于，所述步骤S6中的氧化锌铝靶材最高烧结温度范围为1200℃～1500℃。

9.根据权利要求1所述的薄膜太阳能电池使用的AZO靶材晶粒尺度的制备方法，其特征在于，所述步骤S6中的氧化锌铝靶材烧结时间范围为6h～12h。