[发明专利]一种高性能NiZn铁氧体薄膜的制备方法有效
| 申请号： | 202110238727.3 | 申请日： | 2021-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN113087532B | 公开（公告）日： | 2022-10-14 |
| 发明（设计）人： | 余忠;青豪;孙科;冉茂君;邬传健;刘海;蒋晓娜;兰中文 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | B05D1/02 | 分类号： | B05D1/02;B05D1/00;B05D7/24;B05D7/00;H01F1/14;H01F41/24;C04B35/622;C04B35/26 |
| 代理公司： | 电子科技大学专利中心 51203 | 代理人： | 吴姗霖 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 性能 nizn 铁氧体 薄膜 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种高性能NiZn铁氧体薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤1、配制氧化反应液和还原反应液：
1.1将亚硝酸钠、乙酸钠加入去离子水中，搅拌混合均匀，得到氧化反应液，氧化反应液中，亚硝酸钠的浓度为0.1g/L～0.2g/L，乙酸钠的浓度为1.3g/L～1.5g/L；
1.2将氯化亚铁、氯化镍、氯化锌、氯化钴加入去离子水中，搅拌混合均匀，得到还原反应液，还原反应液中，氯化亚铁、氯化镍、氯化锌和氯化钴的摩尔比为(12.83～13.97)：(0.61～2.83)：1：(0.11～0.67)，氯化亚铁的浓度为1.3g/L～1.6g/L；
步骤2、将干净的基板放置于旋转喷涂设备的加热板中央，在基板温度为90～95℃、旋转速度为100～120r/min、氧化反应液的供应速率为10mL/min～20mL/min、还原反应液的供应速率为10mL/min～20mL/min、超声雾化功率为2～3W、空气气压为2MPa～3MPa的条件下，沉积20min～60min，即可得到所述高性能NiZn铁氧体薄膜。
2.根据权利要求1所述的高性能NiZn铁氧体薄膜的制备方法，其特征在于，步骤2得到的高性能NiZn铁氧体薄膜的厚度为1μm～3μm。
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