[发明专利]光刻机整平装置和具有其的光刻机

权利要求书

1.一种光刻机整平装置，其特征在于，包括：

平台，所述平台上设有吸盘组件，所述吸盘组件包括吸盘和至少一个抽气装置，所述抽气装置与所述吸盘相连，所述吸盘上适于放置芯片，当所述抽气装置工作时所述芯片适于被吸附在所述吸盘上；

机架，所述机架设在所述平台的上方，所述机架上设有吹气组件，所述吹气组件包括在水平面内可运动的至少一个吹气件、转盘和至少一个导轨，所述吹气件包括吹气口，所述吹气口与所述吸盘相对，

所述转盘具有沿上下方向延伸的转动轴线，所述转盘绕所述转动轴线可转动，

所述导轨连接在所述转盘上，所述导轨水平延伸，所述吹气件可移动地设在所述导轨上。

2.根据权利要求1所述的光刻机整平装置，其特征在于，所述导轨连接在所述转盘的邻近所述吸盘的一侧，所述导轨的两端分别位于所述转盘的径向上的两侧。

3.根据权利要求2所述的光刻机整平装置，其特征在于，所述导轨上设有两个吹气件，每个所述吹气件在所述导轨的邻近所述转盘中心的位置处与所述导轨的对应端部之间可移动。

4.根据权利要求1所述的光刻机整平装置，其特征在于，所述导轨为两个，两个所述导轨互相垂直。

5.根据权利要求1所述的光刻机整平装置，其特征在于，所述吹气件沿上下方向竖直延伸。

6.根据权利要求1所述的光刻机整平装置，其特征在于，所述机架上设有向下延伸的连接杆，所述连接杆的下端与所述转盘转动连接。

7.根据权利要求1-6中任一项所述的光刻机整平装置，其特征在于，所述抽气装置为多个，多个所述抽气装置彼此间隔开地连接在所述吸盘的底部。

8.根据权利要求1-6中任一项所述的光刻机整平装置，其特征在于，所述平台为移动平台。

9.一种光刻机，其特征在于，包括根据权利要求1-8任一项所述的光刻机整平装置。