[发明专利]液体喷出头、液体喷出装置以及液体喷出头的制造方法

说明书

本发明提供一种抑制在振动板中产生裂纹的液体喷出头、液体喷出装置以及液体喷出头的制造方法。该液体喷出头在第一方向上依次设置有具有对将用于喷出液体的压力施加在液体上的压力室进行划分的多个划分壁、具有面向压力室的壁面的振动板、和压电体。多个划分壁包括第一划分壁及第二划分壁。压力室在与第一方向交叉的第二方向上处于第一划分壁与第二划分壁之间。振动板的壁面包括在第二方向上处于到第一划分壁为止的距离为到第二划分壁为止的距离以下的第一位置处的第一部分、和在第二方向上处于第一位置与第一划分壁之间的第二位置处的第二部分。第二部分的第一方向上的位置与第一部分的第一方向上的位置相比处于第一方向的相反侧处。

技术领域

本发明涉及一种具有压力室的液体喷出头、液体喷出装置以及液体喷出头的制造方法。

背景技术

作为液体喷出头，已知有一种针对构成压力室的壁的一部分的振动板而通过压电元件来使之产生挠曲变形，从而从喷嘴喷出液滴的压电式的液体喷出头。在专利文献1所公开的液体喷射头中，为了更可靠地抑制在压电体层中产生裂纹等的情况，而具备延伸设置至阻碍压电体层的挠曲变形的区域为止的上电极层、延伸设置至与前述的区域重叠的位置为止的共同金属层、和超过与共同金属层重叠的位置而延伸设置至上电极层的端部为止的共同紧贴层。液体喷出头的压力室形成基板具有对压力室进行划分的多个隔壁。在没有驱动电压被施加于压电元件上时，在振动板上，面向压力室的壁面为平坦面。

在振动板中，面向压力室的压力室对应部反复进行挠曲变形，与隔壁重叠的压力室非对应部则阻碍挠曲变形。特别是，当向压电元件被供给的驱动脉冲成为高频时，振动板的压力室对应部的挠曲变形成为高频。因此，上述的液体喷射头成为在振动板的压力室对应部处在压力室非对应部附近的部位上易于产生裂纹的状态。

另外，上述这样的问题也存在于上述的液体喷射头以外的各种各样的液体喷出头、液体喷出装置等中。

专利文献1：日本特开2016-58467号公报

发明内容

本发明的液体喷出头具有如下方式，即，所述液体喷出头在第一方向上依次设置有：

压力室划分部，其具有对压力室进行划分的多个划分壁，在所述压力室中将用于喷出液体的压力施加到所述液体上；

振动板，其具有面向所述压力室的壁面；

压电体，

在所述液体喷出头中，

所述多个划分壁包括第一划分壁以及第二划分壁，

所述压力室在与所述第一方向交叉的第二方向上处于所述第一划分壁与所述第二划分壁之间，

所述振动板的所述壁面包括第一部分和第二部分，所述第一部分在所述第二方向上处于到所述第一划分壁为止的距离为到所述第二划分壁为止的距离以下的第一位置处，所述第二部分在所述第二方向上处于所述第一位置与所述第一划分壁之间的第二位置处，

所述第二部分的所述第一方向上的位置与所述第一部分的所述第一方向上的位置相比处于所述第一方向的相反侧处。

此外，本发明的液体喷出装置具有如下方式，即，所述液体喷出装置包括：

所述液体喷出头；

控制部，其对来自所述液体喷出头的所述液体的喷出动作进行控制。

进一步地，本发明的液体喷出头的制造方法具有如下方式，即，所述制造方法为如下液体喷出头的制造方法，所述液体喷出头在第一方向上依次设置有：压力室划分部，其具有对压力室进行划分的多个划分壁，在所述压力室中将用于喷出液体的压力施加到所述液体上；振动板，其具有面向所述压力室的壁面；压电体，并且在所述液体喷出头中，

所述多个划分壁包括第一划分壁以及第二划分壁，