[发明专利]一种悬臂式探针寿命测算方法

权利要求书

1.一种获取悬臂式探针寿命测算方法，其特征在于，至少包括：

Step1：获取在晶圆测试过程中悬臂式探针系统的探针的初始针长，记为L₀，设定悬臂式探针的针长报废预警值G，报废值B；

Step2：获取在晶圆测试过程中悬臂式探针系统的探针在单位批次的芯片上的着落频次，记为X,并记录最后一次着落时悬臂式探针的针长，记为L₁；

Step3：根据Step1-Step2得到的L₀、L₁、X的数值计算得到悬臂式探针系统的探针着落的单次损耗值，记为Y，Y＝(L₀－L₁)/X；

Step4：计算晶圆测试过程中悬臂式探针系统探针的着落预警值，即探针需要预警的最大使用次数X₁＝(L₀-G)/Y；针卡报废值X₂＝(L₀-B)/Y。

2.如权利要求1所述的获取悬臂式探针寿命测算方法，其特征在于，在步骤Step1-Step2中，所述L₀和L1的长度值通过测量显微镜或者投影显微镜测得。

3.如权利要求1所述的获取悬臂式探针寿命测算方法，其特征在于，在步骤Step1-Step2中所述L₀和L₁的长度值是指探针的针头与针杆之间的垂直距离。

4.如权利要求1所述的获取悬臂式探针寿命测算方法，其特征在于，在步骤Step2中，探针的着落频次获取采用传感器或使用测试仪器上的数据读取装置获取。

5.如权利要求1所述的获取悬臂式探针寿命测算方法，其特征在于，在步骤Step1中，针长报废预警值G≤7mil。

6.如权利要求1所述的获取悬臂式探针寿命测算方法，其特征在于，在步骤Step1中，针长报废值B≤5mil。