[发明专利]集成式真空干燥箱

说明书

本发明提供了一种集成式真空干燥箱，包括：箱体、布置在箱体内的多个真空干燥舱、连通箱体内外的抽气孔；箱体内部由舱室隔离板分割成多个腔室，每个腔室分别容纳一个真空干燥舱及相应的温度控制系统；每个真空干燥舱均包括：隔热保温层、嵌入隔热保温层内的密封圈内嵌槽、布置在隔热保温层内的真空干燥舱内衬、布置在真空干燥舱内衬中的搁板、嵌入真空干燥舱内衬及处于密封圈内嵌槽内侧的隔热保温层部分的气嘴接口、一端与气嘴接口连接且另一端穿过气嘴接口的气管、以及加热器件。

技术领域

本发明涉及材料加工工艺和半导体工艺等领域，具体涉及一种集成式真空干燥箱。

背景技术

真空干燥箱一般专为干燥热敏性、易分解和易氧化物质而设计，能够向内部充入惰性气体，特别是一些成分复杂的物品也能进行快速干燥，尤其针对于一些洁净试验室及航天单位的烘干实验，能使产品在一个非常干净的环境下快速干燥。

真空干燥箱在生物化学领域、医疗卫生领域以及环境保护等领域都能够很好的帮助专家进行实验的研究，能够很好的对粉末进行一定的干燥甚至是烘焙。真空干燥箱还可以根据实验的需要，对玻璃器皿进行一定的消毒和杀菌。过去，在很多的原料药行业的生产过程中，真空干燥箱也能够起到很好的辅助作用。真空干燥箱可用于对药物原料中很多易挥发、易分解的物质进行快速的干燥处理，以保证药物的药性不受影响。

但是，当前的设备往往只有一个工作舱，只能一次性对多个实验对象同时提供同样的工艺操作，不能同时进行多个不同工艺流程的操作。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是针对现有技术中存在上述缺陷，提供一种能够针对多个实验对象同时进行多个不同工艺流程操作的集成式真空干燥箱。

根据本发明，提供了一种集成式真空干燥箱包括：箱体、布置在箱体内的多个真空干燥舱、连通箱体内外的抽气孔；箱体内部由舱室隔离板分割成多个腔室，每个腔室分别容纳一个真空干燥舱及相应的温度控制系统；每个真空干燥舱均包括：隔热保温层、嵌入隔热保温层内的密封圈内嵌槽、布置在隔热保温层内的真空干燥舱内衬、布置在真空干燥舱内衬中的搁板、嵌入真空干燥舱内衬及处于密封圈内嵌槽内侧的隔热保温层部分的气嘴接口、一端与气嘴接口连接且另一端穿过气嘴接口的气管、以及加热器件。

优选地，气管包括进气气管与排气气管，进气气管用于用干燥气体替换掉原工作舱内升温气体；排气气管用于将湿度过高的气体抽离以及制造负压；进气气管与排气气管分别独立地连接至各个真空干燥舱从而单独针对各个真空干燥执行进气与排气操作，并且进气气管与排气气管轮流操作而不同时操作。

优选地，加热器件布置在密封圈内嵌槽和真空干燥舱内衬之间；而且加热器件和气嘴接口布置在真空干燥舱的相对的两侧，从而防止加热器件加热时导致的气嘴接口变形。

优选地，箱体上配置有电源指示灯和电源开关。

优选地，每个真空干燥舱均包括：独立舱门和控制显示面板；控制显示面板用于设置相应真空干燥舱的干燥时间、温度、压力和湿度。

优选地，独立舱门具有由多层隔热玻璃组成的可视窗口，独立舱门的边缘布置有密封圈，独立舱门上配置有把手。

优选地，每个真空干燥舱中配置有传感系统，如温度、温度、压力等监测系统。优选地，在真空干燥舱内的温度或者压力处于预定范围时，独立舱门的打开功能被禁用。

优选地，集成式真空干燥箱包括总控制系统，总控制系统包括中控与电源系统、压力控制系统、温度控制系统和控制显示系统，中控与电源系统与压力控制系统、温度控制系统、控制显示系统相连接。

优选地，控制显示系统用于采集用户设置的参数，并将这些参数传送到中控与电源系统；而且中控与电源系统保存控制显示系统传递过来的设置参数，并根据设置参数来完成相应的流程操作。