[发明专利]一种调控磁性薄膜本征阻尼因子的方法在审

专利信息
申请号: 202110234054.4 申请日: 2021-03-03
公开(公告)号: CN113054096A 公开(公告)日: 2021-06-29
发明(设计)人: 阮学忠;杨龙;马眉扬;陆佳华;徐永兵;孟皓;刘波 申请(专利权)人: 南京大学;浙江驰拓科技有限公司
主分类号: H01L43/14 分类号: H01L43/14;H01L43/10;H01L43/08;G01R33/12;G01R33/032
代理公司: 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 代理人: 陈建和
地址: 210093 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 调控 磁性 薄膜 阻尼 因子 方法
【权利要求书】:

1.一种调控NiFe薄膜磁性本征阻尼因子的方法,其特征是,使用电子束蒸发生长方法在Si基片上沉积出20±10nm厚的带状长条NiFe薄膜;带状长条的长度为宽度的20-200倍。对于生长后的样品,在NiFe薄膜带状长条两端引出电极A和B,通过电极A和B向NiFe带状长条中注入电流,所述的外加注入电流密度为1×105-6×105A/cm2

2.调控NiFe薄膜磁性本征阻尼因子的方法,其特征是,

NiFe带状薄膜中的电流密度从小增加到1×105A/cm2、3×105A/cm2、5×105A/cm2、6×105A/cm2;电流密度从小逐渐增加,本征阻尼因子从0.11增加到0.22以上,NiFe带状薄膜中的电流密度从大1×105A/cm2、3×105A/cm2、5×105A/cm2、6×105A/cm2再逐渐减少到0,本征阻尼因子有所减少。

3.根据权利要求1所述的调控NiFe薄膜磁性本征阻尼因子的方法,其特征是,所述的NiFe带状长条中,NiFe带状长条的宽度为500μm,厚度为20nm。

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