[发明专利]沉积装置和用于使用沉积装置检查喷嘴的方法

权利要求书

1.一种用于检查喷嘴的方法，包括：

测量所述喷嘴的温度；

将所述喷嘴的温度与基准温度进行比较；以及

基于所述喷嘴的所述温度确定所述喷嘴是否被堵塞。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，确定所述喷嘴是否被堵塞包括：响应于所述喷嘴的所述温度低于所述基准温度而确定所述喷嘴被堵塞。

3.根据权利要求2所述的方法，还包括：

响应于确定所述喷嘴被堵塞而清除所述喷嘴的喷嘴堵塞。

4.根据权利要求3所述的方法，其中，在清除所述喷嘴堵塞中，使用激光器向所述喷嘴照射激光束。

5.根据权利要求1所述的方法，其中，确定所述喷嘴是否被堵塞还包括：响应于所述喷嘴的所述温度不低于所述基准温度而确定所述喷嘴未被堵塞。

6.一种用于检查喷嘴的方法，包括：

通过热成像相机拍摄所述喷嘴以生成包括所述喷嘴的温度信息的热图像数据；以及

根据所述热图像数据确定所述喷嘴是否被堵塞。

7.根据权利要求6所述的方法，其中，确定所述喷嘴是否被堵塞包括：将根据所述热图像数据来展示所述喷嘴的颜色和展示基准温度的颜色进行比较。

8.根据权利要求7所述的方法，其中，确定所述喷嘴是否被堵塞还包括：响应于展示所述喷嘴的所述颜色是展示低于所述基准温度的温度的颜色而确定所述喷嘴被堵塞。

9.根据权利要求6所述的方法，其中，确定所述喷嘴是否被堵塞还包括：

根据所述热图像数据计算所述喷嘴的温度；以及

将计算出的所述喷嘴的所述温度和基准温度进行比较。

10.根据权利要求9所述的方法，其中，确定所述喷嘴是否被堵塞还包括：响应于计算出的所述喷嘴的所述温度低于所述基准温度而确定所述喷嘴被堵塞。

11.根据权利要求6所述的方法，还包括：

响应于确定所述喷嘴被堵塞而清除所述喷嘴的喷嘴堵塞。

12.一种沉积装置，包括：

沉积源，包括沿一方向布置的至少一个喷嘴；

温度测量单元，被配置为测量所述喷嘴的温度；以及

确定单元，被配置为基于所述温度测量单元的测量数据来确定所述喷嘴是否被堵塞。

13.根据权利要求12所述的沉积装置，其中，所述温度测量单元包括热成像相机，所述热成像相机被配置为拍摄所述喷嘴以生成热图像数据，其中，所述热成像相机与所述喷嘴间隔开。

14.根据权利要求13所述的沉积装置，其中，所述确定单元被配置为根据所述热图像数据计算所述喷嘴的所述温度，并且将计算出的所述喷嘴的所述温度与基准温度进行比较以确定所述喷嘴是否被堵塞。

15.根据权利要求14所述的沉积装置，其中，所述确定单元被配置为基于计算出的所述喷嘴的所述温度低于所述基准温度来确定所述喷嘴被堵塞。

16.根据权利要求13所述的沉积装置，其中，所述确定单元被配置为根据所述热图像数据计算展示所述喷嘴的颜色，并且将展示所述喷嘴的所述颜色与展示基准温度的颜色进行比较以确定所述喷嘴是否被堵塞。

17.根据权利要求16所述的沉积装置，其中，所述确定单元被配置为基于展示所述喷嘴的所述颜色是展示低于所述基准温度的温度的颜色而确定所述喷嘴被堵塞。