[发明专利]一种晶圆传送装置及方法

权利要求书

1.一种晶圆传送装置，其特征在于，包括：

机械臂，用于获取晶圆并移动；

容纳件，具有底壁和设置在所述底壁边缘的侧壁，所述底壁和所述侧壁围成空腔，所述侧壁上开设与所述空腔连通的开口；

承载体，设置在所述空腔内，所述承载体包括用于放置所述晶圆的盘体和设置在所述盘体边缘的阻挡件；所述阻挡件至少部分位于所述盘体的上方；

传感组件，所述传感组件包括第一部件和第二部件，所述第一部件和所述第二部件的其中一个作为信号发射端，另一个作为信号接收端；

其中，所述机械臂能够经过所述开口出入所述空腔，所述第一部件设置于所述机械臂上，所述第二部件设置于所述容纳件内并与所述开口相对，且所述第二部件到所述盘体所在平面的距离小于或等于所述阻挡件的上端到所述盘体的上表面的距离，以使所述第一部件与所述第二部件之间的信号传输路径与所述盘体之间的垂直距离处于所述阻挡件突出所述盘体的上表面的范围内。

2.如权利要求1所述的晶圆传送装置，其特征在于，所述第一部件设置在所述机械臂的前端，所述前端为所述机械臂朝向所述开口运动的状态下靠近所述开口的一端。

3.如权利要求2所述的晶圆传送装置，其特征在于，在所述第一部件位于所述空腔的状态下，所述第一部件到所述底壁的距离与所述第二部件到所述底壁的距离基本相同。

4.如权利要求2所述的晶圆传送装置，其特征在于，所述机械臂具有U型抓取部，所述U型抓取部的两个间隔设置的悬臂上均设有所述第一部件，所述第一部件和所述第二部件分别设置为两个，每个所述第一部件与每个所述第二部件一一对应。

5.如权利要求1或2所述的晶圆传送装置，其特征在于，所述阻挡件具有多个，沿所述盘体的边缘周向间隔设置。

6.如权利要求1所述的晶圆传送装置，其特征在于，所述晶圆传送装置还包括控制装置，所述控制装置用于接收传送指令，控制所述信号发射端发射信号，并判断所述信号接收端是否接收到所述信号；其中，所述传送指令用于指示所述机械臂传送所述晶圆。

7.如权利要求6所述的晶圆传送装置，其特征在于，所述晶圆传送装置还包括报警装置，所述报警装置用于在所述信号接收端未接收到所述信号发射端发射的信号时发出报警信号。

8.一种晶圆的传送方法，采用如权利要求1-7任一项所述的晶圆传送装置，其特征在于，包括：

控制所述机械臂移动至正对所述开口的预设位置；

控制所述信号发射端发射信号；

判断所述信号接收端是否接收到所述信号；

若判断结果为是，所述机械臂继续运动至所述承载体处投放或抓取晶圆。

9.如权利要求8所述的晶圆传送方法，其特征在于，所述晶圆传送方法还包括：

在判断所述信号接收端是否接收到所述信号的判断结果为否的状态下，控制所述机械臂停止运动。

10.如权利要求9所述的晶圆的传送方法，其特征在于，若所述判断结果为否，所述机械臂停止运动的同时启动报警装置。