[发明专利]一种检测设备及光学检测方法

权利要求书

1.一种检测设备，其特征在于：检测设备包括功能外箱（1000）、减震台架（2000）、平台模组（3000）和光学检测装置（4000）；其中，所述减震台架（2000）、平台模组（3000）和光学检测装置（4000）非刚性连接或间隔的设置在所述功能外箱（1000）内；所述平台模组（3000）和光学检测装置（4000）设置在所述减震台架（2000）上；

所述功能外箱（1000）包括外架箱（1100）、电控箱组件（1200）、气控箱组件（1300）和操作端组件（1400），所述外架箱（1100）为三排双段箱体结构，左排为进出料位，中排为检测位，右排为电气供给位，上段为操控检测段，下段为控制柜段；其中，在所述外架箱（1100）上集成设置所述电控箱组件（1200）、气控箱组件（1300）和操作端组件（1400）；在外架箱（1100）左端设为进料位，所述电控箱组件（1200）设置在外架箱（1100）后端下段内侧，所述气控箱组件（1300）嵌设在外架箱（1100）右端面，所述操作端组件（1400）嵌设在外架箱（1100）前端左上段；

所述减震台架（2000）包括下钢架（2100）、减震支撑组件（2200）、台架承载台板（2300）、检测承载底柱（2400）和顶升模组（2500），所述下钢架（2100）、减震支撑组件（2200）和台架承载台板（2300）自下而上依此设置，所述顶升模组（2500）设置台架承载台板（2300）开设的顶升缺口处，用于接收并顶升待测件；

所述平台模组（3000）设置在所述减震台架（2000）上，所述平台模组包括移载装置（3100）和气浮平台（3200）；所述移载装置（3100）跨设在所述气浮平台（3200）上以对待测件在进料口与检测工位之间移送，气浮平台（3200）用于待测件的气浮承载及定位，且平台模组（3000）的浮动平面度为±20μm；

所述移载装置（3100）包括两组相对设置的无尘拖链（3110）、电气控制台组（3120）、侧边靠位组件（3130）、预检组件（3140）、端靠位组件（3150）和吸盘组件（3160）；所述侧边靠位组件（3130）、预检组件（3140）和吸盘组件（3160）设置在所述电气控制台组（3120）上；两组相对设置的侧边靠位组件（3130）对待测件进行侧边定位，两组预检组件（3140）检测并判定吸盘组件（3160）上是否有待测件并对待测件进行瑕疵预检测；两组相对设置的端靠位组件（3150）对待测件进行前后端定位；两组相对设置的吸盘组件（3160）形成矩形布置以将整张待测件水平支撑，通过负压将位于吸盘上的待测件吸附并随拖链运动输送待测件；

所述气浮平台（3200）采用分段式结构，从前往后依次包括搬运段气浮组件（3210）、过渡段气浮组件（3220）和精密段气浮组件（3230）三段，其中，三段气浮组件的安装平面度|▱|关系为|▱_搬运|≥|▱_过渡|＞|▱_精密|；三段气浮组件的上浮高度H_f为：H_f搬运=150μm~250μm，H_f过渡=100μm~200μm，H_f精密=30μm~70μm；三段气浮组件的上浮平面度绝对值|▱_f|关系为|▱_f搬运|＞|▱_f过渡|＞|▱_f精密|；

所述光学检测装置（4000）设置在所述平台模组（3000）检测工位的上方，用于待测件的检测；

其中所述光学检测装置（4000）包括主检相机组件（4100）、复检相机组件（4200）和定位相机组件（4300），用于待测件的定位、初检和复检。

2.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于：其中，所述顶升模组（2500）包括顶升底座（2510）、同步器（2520）、顶升电机（2530）、顶升上架（2540）、顶针组（2550）和顶升光纤组件（2560），其中，同步器（2520）设置在顶升底座（2510）的四角上，顶升电机（2530）与同步器（2520）的顶面平齐设置；通过型材搭建的顶升上架（2540）支撑在所述顶升电机（2530）和同步器（2520）上，顶针组（2550）可拆卸的布置在所述顶升上架（2540）上；两组顶升光纤组件（2560）设置在顶升上架（2540）的对角线端部用以检测是否接收待测件并初步检测是否存在破损。