[发明专利]一种减震台架及采用该减震台架的检测设备

权利要求书

1.一种减震台架，其特征在于：减震台架(2000)包括下钢架(2100)、减震支撑组件(2200)、台架承载台板(2300)和检测承载底柱(2400)；所述下钢架(2100)、减震支撑组件(2200)和台架承载台板(2300)自下而上依此设置；

其中，四个所述减震支撑组件(2200)设置在下钢架(2100)的四个边角上，低温度形变系数的台架承载台板(2300)高度可调的设置在四个所述减震支撑组件(2200)上，两个检测承载底柱(2400)相对的设置在台架承载台板(2300)右端；

所述下钢架(2100)包括型材模块化构成的钢架本体(2110)和在钢架本体(2110)的四角底部设置台架地脚(2120)，台架地脚(2120)包括地脚底垫和地脚螺栓，起到防滑、支撑、减震和高度调节作用，

所述台架地脚(2120)和减震支撑组件(2200)组成减震台架(2000)共同起到减震调高作用。

2.根据权利要求1所述的减震台架，其特征在于：所述减震支撑组件(2200)包括减震器主体(2210)、两个辅助顶脚(2220)、减震底板(2230)和支撑斜立板(2240)，所述减震底板(2230)向外延申的水平设置在钢架本体(2110)的四角上表面，在延伸段与钢架本体(2110)的侧面之间设置所述支撑斜立板(2240)，所述减震器主体(2210)和位于减震器主体(2210)两侧的辅助顶脚(2220)设置在所述减震底板(2230)上，两个辅助顶脚(2220)起预调高和限位止挡作用，所述减震器主体(2210)起微调和吸震作用。

3.根据权利要求2所述的减震台架，其特征在于：减震台架(2000)还包括顶升模组(2500)，所述顶升模组(2500)设置在减震底板(2230)上开设的顶升缺口处，用于接收并顶升待测件。

4.根据权利要求3所述的减震台架，其特征在于：所述顶升模组(2500)包括顶升底座(2510)、同步器(2520)、顶升电机(2530)、顶升上架(2540)和顶针组(2550)，型材构成的矩形顶升底座(2510)固定至下钢架(2100)上，同步器(2520)设置在顶升底座(2510)的四角上，所述顶升电机(2530)设置在顶升底座(2510)的中部，且顶升电机(2530)与同步器(2520)的顶面平齐设置；通过型材搭建的顶升上架(2540)支撑在所述顶升电机(2530)和同步器(2520)上，顶针组(2550)可拆卸的布置在所述顶升上架(2540)上。

5.根据权利要求4所述的减震台架，其特征在于：所述顶针组(2550)的每个顶针单元包括自下而上可拆卸设置的顶针底座、顶针柱和顶针头。

6.根据权利要求4所述的减震台架，其特征在于：所述顶升模组(2500)还包括顶升光纤组件(2560)和顶升辅助固定器(2570)，其中两组顶升光纤组件(2560)对角的设置在所述顶升上架(2540)的对角线端部，两个所述顶升辅助固定器(2570)相对的设置在顶升底座(2510)的两个边框处用于辅助固定。

7.一种采用权利要求1-6任一项所述的减震台架的检测设备，其特征在于：检测设备包括功能外箱(1000)、减震台架(2000)、平台模组(3000)、移载模组(4000)和光学检测装置(5000)，其中所述减震台架(2000)、平台模组(3000)、移载模组(4000)和光学检测装置(5000)非刚性连接或间隔的设置在所述功能外箱(1000)内；

所述平台模组(3000)设置在所述减震台架(2000)上，所述平台模组(3000)用于待测件的气浮承载及定位，且平台模组(3000)的浮动平面度为±20μm；所述光学检测装置(5000)设置在所述平台模组(3000)上方，用于待测件的检测；所述移载模组(4000)设置在所述光学检测装置(5000)下方，用于将待测件在功能外箱(1000)的进出料口与光学检测装置(5000)之间移送；

其中所述光学检测装置(5000)包括定位相机、主检相机和复检相机，用于待测件的定位、初检和精检。