[发明专利]一种管靶材及其用途在审
| 申请号： | 202110227697.6 | 申请日： | 2021-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN113025971A | 公开（公告）日： | 2021-06-25 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;侯娟华 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C4/067;C23C4/16 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 管靶材 及其 用途 | ||
1.一种管靶材，其特征在于，所述管靶材包括管体及内孔；
所述内孔两端分别设置有第一螺孔和第二螺孔；
所述第一螺孔内设置有第一螺纹；
所述第二螺孔内设置有第二螺纹；
所述管体侧面设置有铬硅合金层。
2.根据权利要求1所述的管靶材，其特征在于，所述管靶材的材质包括SUS304不锈钢。
3.根据权利要求1或2所述的管靶材，其特征在于，所述管体的外径为65～75mm；
优选地，所述管体的长度为360～380mm。
4.根据权利要求1～3任一项所述的管靶材，其特征在于，所述铬硅合金层设置于管体侧面的中部；
优选地，所述铬硅合金层的长度为305～315mm；
优选地，所述铬硅合金层的厚度为2.5～3.5mm；
优选地，所述铬硅合金中铬和硅的质量比为(2～3.5):(4～8)。
5.根据权利要求1～4任一项所述的管靶材，其特征在于，所述第一螺孔包括第一螺孔一段和第一螺孔二段；
优选地，所述第一螺孔二段靠近内孔设置；
优选地，所述第一螺纹设置于第一螺孔二段。
6.根据权利要求5所述的管靶材，其特征在于，所述第一螺孔一段的长度为1.5～2.5mm；
优选地，所述第一螺孔一段的内径为66～68mm；
优选地，所述第一螺孔二段的长度为17.5～18.5mm；
优选地，所述第一螺纹的规格包括M60×2。
7.根据权利要求1～6任一项所述的管靶材，其特征在于，所述内孔的内径为55～57mm。
8.根据权利要求1～7任一项所述的管靶材，其特征在于，所述第二螺孔包括第二螺孔一段和第二螺孔二段；
优选地，所述第二螺孔二段靠近内孔设置；
优选地，所述第二螺纹设置于第二螺孔二段。
9.根据权利要求8所述的管靶材，其特征在于，所述第二螺孔一段的长度为1.5～2.5mm；
优选地，所述第二螺孔一段的内径为66～68mm；
优选地，所述第二螺孔二段的长度为17.5～18.5mm；
优选地，所述第二螺纹的规格包括M60×2。
10.一种如权利要求1～9任一项所述的管靶材在溅射镀膜中的用途。
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