[发明专利]一种横向模式抑制的声表面波谐振器在审
| 申请号： | 202110227486.2 | 申请日： | 2021-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN113114154A | 公开（公告）日： | 2021-07-13 |
| 发明（设计）人： | 郝文昌;骆伟;赵广宏;焦海龙;张小辉;刘铁钢 | 申请（专利权）人： | 北京遥测技术研究所;航天长征火箭技术有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/25 |
| 代理公司： | 中国航天科技专利中心 11009 | 代理人： | 张辉 |
| 地址： | 100076 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 横向 模式 抑制 表面波 谐振器 | ||
1.一种横向模式抑制的声表面波谐振器，其特征在于：包括基片(1)、叉指换能器(2)、第一金属反射栅阵(3)、第二金属反射栅阵(4)、第一间隙(5)和第二间隙(6)；基片(1)上中心位置处设置有叉指换能器(2)，叉指换能器(2)的一侧设置有第一金属反射栅阵(3)，另一侧设置有第二金属反射栅阵(4)，叉指换能器(2)和第一金属反射栅阵(3)之间形成第一间隙(5)，叉指换能器(2)和第二金属反射栅阵(4)之间形成第二间隙(6)；所述叉指换能器(2)两端汇流条处均连接输出引线；定义声孔径垂直方向为x轴，叉指换能器(2)、第一金属反射栅阵(3)、第二金属反射栅阵(4)的上方汇流条在一条直线上，叉指换能器(2)、第一金属反射栅阵(3)、第二金属反射栅阵(4)的下方汇流条在另一条直线上，叉指换能器(2)、第一金属反射栅阵(3)、第二金属反射栅阵(4)的上方汇流条所在直线与x轴的夹角为偏向角，声波传播群速度方向和相速度方向的夹角为能流角；所述能流角在-10°～+10°之间，偏向角与能流角不重合，且偏向角与能流角的角度差在-20°～0°或0°～+20°之间。
2.根据权利要求1所述的一种横向模式抑制的声表面波谐振器，其特征在于：所述叉指换能器(2)不加权。
3.根据权利要求1所述的一种横向模式抑制的声表面波谐振器，其特征在于：所述基片(1)为石英基片、LiNbO3基片、LiTaO3基片、LGS基片或LGT基片。
4.根据权利要求1所述的一种横向模式抑制的声表面波谐振器，其特征在于：所述叉指换能器(2)、第一金属反射栅阵(3)和第二金属反射栅阵(4)的材料相同，为Al、Au、Cu、Pt或金属复合材料。
5.根据权利要求1所述的一种横向模式抑制的声表面波谐振器，其特征在于：所述叉指换能器(2)、第一金属反射栅阵(3)和第二金属反射栅阵(4)的金属化比相等，金属化比为0.1～0.6。
6.根据权利要求1所述的一种横向模式抑制的声表面波谐振器，其特征在于：所述第一间隙(5)和第二间隙(6)宽度相等或不相等，第一间隙(5)和第二间隙(6)宽度均为所述叉指换能器(2)电周期的0.25～2.5倍。
7.根据权利要求1所述的一种横向模式抑制的声表面波谐振器，其特征在于：所述第一金属反射栅阵(3)和第二金属反射栅阵(4)的同步频率相同，均为叉指换能器同步频率的0.95～1.05倍。
8.根据权利要求1所述的一种横向模式抑制的声表面波谐振器，其特征在于：所述第一金属反射栅阵(3)和第二金属反射栅阵(4)均与叉指换能器(2)平行。
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