[发明专利]一种二维金属锰硫族化合物材料的制备方法在审
| 申请号： | 202110227199.1 | 申请日： | 2021-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN113104893A | 公开（公告）日： | 2021-07-13 |
| 发明（设计）人： | 徐明生;朱清海 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | C01G45/00 | 分类号： | C01G45/00;C01B19/04;C23C16/30 |
| 代理公司： | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人： | 白静兰;胡红娟 |
| 地址： | 310013 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 二维 金属锰 化合物 材料 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种二维金属锰硫族化合物材料的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括：
1)对反应腔室抽真空，使本底真空达到1.0x100Pa–1.0x10-6Pa；
2)将气态原材料Mn源和S源或Se源由惰性载气传输至反应腔室的衬底，其中采用MnCl2、MnBr2或MnI2作为Mn源；
3)在还原性或氧化性气氛下，气态原材料Mn源和S源或Se源在温度450–850℃下反应形成MnX2材料，X＝S或Se。
2.根据权利要求1所述的二维金属锰硫族化合物材料的制备方法，其特征在于，所述Mn源采用加热或能量粒子束处理成为气态原材料。
3.根据权利要求1所述的二维金属锰硫族化合物材料的制备方法，其特征在于，所述S源或Se源为硫粉或硒粉，所述硫粉或硒粉采用加热或能量粒子束处理成为气态原材料。
4.根据权利要求1所述的二维金属锰硫族化合物材料的制备方法，其特征在于，所述S源为气态H2S。
5.根据权利要求1所述的二维金属锰硫族化合物材料的制备方法，其特征在于，所述Mn源和S源或Se源放置于反应腔室或者独立于反应腔室分别放置于不同腔室。
6.根据权利要求1所述的二维金属锰硫族化合物材料的制备方法，其特征在于，所述衬底为Si、SiO2、蓝宝石、云母、Ge或HOPG。
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