[发明专利]一种固定污染源用动态校准仪的校准方法

权利要求书

1.一种固定污染源用动态校准仪的校准方法，其特征在于：包括以下操作步骤：

S1：动态校准仪流量参数检测：通过高精度流量装置得到动态校准仪流量控制器的流量标准值来溯源被校准设备的气体流量；

S2：动态校准仪稀释浓度参数检测：通过一级标气和对应的气体分析仪器得到动态校准仪稀释浓度标准值来溯源被校准设备的稀释浓度；

S3：校准结果的不确定度分析与评定：对流量与稀释浓度参数的测量的不确定度进行评估；

S4：设备密闭性检测：采用气体正压压降法，在设备气路内正常通入一定压力的气体，静止一段时间使其压力稳定，然后断开部件的压缩空气供给，如关闭阀门，经过既定的测量时间去测量压力的变化量，如果存在泄漏，则压力就会下降；

S5：设备各气路流量检测：采用质量流量测量法，流体的体积是流体温度和压力的函数，是一个因变量，但是,流体的质量是一个不随时间、空间、温度、压力变化而变化的量，通过高精度质量流量装置可直接测量通过设备各气路流量计或流量控制器中介质的质量流量；

S6：稀释气浓度检测，采用光谱分析法与色谱分析法，光谱分析法是以光的吸收、发射和散射等作用而建立的分析方法，通过检测光谱的波长或光的强度来进行分析；色谱分析法是利用待测物质的物理化学和分子结构特性的不同，在线分离待测混合物组分，然后进行检测、分析成谱。

S7：设备自检或外接稳压装置检查设备气密性，设备正常配气使用，随后对每个质量流量控制系统全量程段进行多点流量校准，动态校准仪在进行浓度稀释时，其控制面板上会显示稀释浓度的示值，同时，对管路进行连接，在保证动态校准仪正常工作的条件下，通过气体分析仪器对稀释气体进行浓度校准，针对某些易吸附气体，在不同的稀释流量下，按照上面步骤进一步细化稀释浓度参数，统计分析，针对特定易吸附气体，明确每个流量控制器在其使用的各量程范围段，分为低、中、高段，确定需要额外校准的浓度点。

2.根据权利要求1所述的一种固定污染源用动态校准仪的校准方法，其特征在于：所述S2步骤中质量流量控制器流量线性关系最好的范围集中于：20％FS～80％FS，若标准气和稀释气流量量程分别为Qs和Qo，那么对于稀释比k在两个正常使用的极限值：kmin和kmax，且需要注意三点：

一：在相同稀释比时，单组分标准气体中不同稀释流量对稀释浓度的影响；

二：在相同稀释比时，多组分混合标准气体中不同稀释流量对不同组分稀释浓度的影响；

三：在相同稀释流量时，不同稀释比对稀释浓度的影响。

3.根据权利要求1所述的一种固定污染源用动态校准仪的校准方法，其特征在于：常态下，对高浓度标气进行稀释，稀释气浓度计算公式：

式中：q_s——标准气体的质量流量，sccm或slm；

q_o——稀释气体的质量流量，sccm或slm；

C_稀——稀释后气体的浓度，μmol/mol或nmol/mol；

C_标——标气瓶气体的浓度，μmol/mol或nmol/mol；

k——稀释比。

4.根据权利要求1所述的一种固定污染源用动态校准仪的校准方法，其特征在于：所述的气体分析设备需要用多种一级标气，多浓度点校准充分，并保证仪器重复性、稳定性满足使用需求，项目研究过程中需要定期进行标准器技术指标的核查。

5.根据权利要求1所述的一种固定污染源用动态校准仪的校准方法，其特征在于：所述被溯源设备流量校准中，根据调研结果进行分析、归纳，选择具有代表性的，且使用广泛的无机、有机气体物质，包括单组分、多组分，进行浓度参数的逐一校准。

6.根据权利要求1所述的一种固定污染源用动态校准仪的校准方法，其特征在于：所述的动态校准仪在使用时，针对特定稀释浓度，需要考虑其中各气路流量控制器的输出流量是否在较优的线性范围内：20～80％FS。

7.根据权利要求1所述的一种固定污染源用动态校准仪的校准方法，其特征在于：所述的设备较优的线性范围确定稀释极限值为kmin和kmax。

8.根据权利要求1所述的一种固定污染源用动态校准仪的校准方法，其特征在于：所述的分析设备根据气体类型，选择合适原理、合适精度的仪器。