[发明专利]微机电麦克风及电子设备有效

申请号：	202110224613.3	申请日：	2021-03-01
公开（公告）号：	CN113132876B	公开（公告）日：	2023-08-04
发明（设计）人：	邹泉波;邱冠勋;王喆	申请（专利权）人：	歌尔微电子股份有限公司
主分类号：	H04R19/00	分类号：	H04R19/00;H04R19/04
代理公司：	北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442	代理人：	马铁良
地址：	266101 山东省青岛市崂***	国省代码：	山东;37
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摘要：
搜索关键词：	微机麦克风电子设备
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【说明书】：

这里公开了一种微机电麦克风及电子设备。微机电麦克风包括：上壳；基座，包括声孔，并且与上壳一起形成微机电麦克风的壳体；麦克风衬底，被设置在基座上方并包括至少两个第一开孔，所述至少两个第一开孔与所述声孔连通；以及至少两个麦克风单元，形成在衬底上并且分别与所述第一开孔相对应，其中，所述至少两个麦克风单元在声学上并联设置在所述麦克风衬底上，所述至少两个麦克风单元分别包括振膜和背极板，所述振膜和第一开孔的侧壁围成麦克风前腔的至少一部分，以及所述至少两个麦克风单元在电路上串联。

技术领域

这里公开的实施例涉及微机电(MEMS)麦克风技术领域，以及具体涉及一种微机电麦克风及电子设备。

背景技术

微机电麦克风被广泛应用于各种电子设备，例如，智能手机、平板电脑、车载智能系统、智能音箱等。

图1示出了一个微机电麦克风的示意图。如图1所示，微机电麦克风包括上壳101和基座102。上壳101和基座102共同构成微机电麦克风的壳体。在基座102中有声孔103。在基座上设置麦克风衬底104。麦克风衬底104的开孔与与声孔103相对。在麦克风衬底104上设置麦克风单元105。麦克风单元105包括振膜和背极板。在麦克风单元105中的振膜和麦克风衬底104的开孔侧壁之前形成微机电麦克风的前腔104a。麦克风单元105通过引线106与麦克风集成电路ASIC 107连接。

发明内容

本公开的一个目的是提供的用于微机电麦克风的新技术方案。

根据本公开的第一方面，提供了一种微机电麦克风，包括：上壳；基座，包括声孔，并且与上壳一起形成微机电麦克风的壳体；麦克风衬底，被设置在基座上方并包括至少两个第一开孔，所述至少两个第一开孔与所述声孔连通；以及至少两个麦克风单元，形成在衬底上并且分别与所述第一开孔相对应，其中，所述至少两个麦克风单元在声学上并联设置在所述麦克风衬底上，其中，所述至少两个麦克风单元分别包括振膜和背极板，所述振膜和第一开孔的侧壁围成麦克风前腔的至少一部分，以及其中，所述至少两个麦克风单元在电路上串联。

根据本公开的第一方面，提供了一种电子设备，包括这里公开的微机电麦克风。

根据本公开的实施例，可以提高微机电麦克风的性能。

通过以下参照附图对本公开的示例性实施例的详细描述，本公开的其它特征及其优点将会变得清楚。

附图说明

被结合在说明书中并构成说明书的一部分的附图示出了本公开的实施例，并且连同其说明一起用于解释本公开的原理。

图1示出了现有技术中的一个微机电麦克风的示意图。

图2示出了根据一个实施例的微机电麦克风的示意图。

图3示出了根据一个实施例的微机电麦克风中的微机电麦克风单元的示意性顶视图。

图4示出了根据一个实施例的微机电麦克风单元的示意性侧视图。

图5示出了根据一个实施例的微机电麦克风的示意性电路图。

图6示出了根据一个实施例的微机电麦克风的集总模型。

图7示出了根据另一个实施例的微机电麦克风单元的示意性侧视图。