[发明专利]微调螺钉装配体和加工装置

说明书

本发明提供微调螺钉装配体和加工装置，适当地测量对磨削磨具的加工工具施加的载荷。微调螺钉装配体设置成将第1部件和第2部件隔开间隔地连结，能够调整第1部件与第2部件之间的距离，并且能够检测施加于第2部件的载荷。微调螺钉装配体包含：第1外螺纹，其能够拧入形成于该第1部件的第1内螺纹；第2外螺纹，其在第1外螺纹的轴向的延长线上与第1外螺纹分离地配置，能够拧入形成于第2部件的第2内螺纹，该第2内螺纹具有与第1内螺纹的螺距不同的螺距；连结部，其将相互分离的第1外螺纹和第2外螺纹连结成一体；以及载荷传感器，其被施加压缩载荷而收纳在连结部的内部。

技术领域

本发明涉及微调螺钉装配体和加工装置。

背景技术

在通过安装于磨削单元的环状的多个磨削磨具对卡盘工作台的保持面所保持的被加工物进行磨削的磨削装置中，卡盘工作台和磨削单元配置成使磨削磨具通过被加工物的中心。

对保持面所保持的被加工物的磨削加工在从被加工物的中心至外周的半径区域中实施。在该半径区域中，保持面和磨削磨具的下表面相互平行。另外，根据磨削后的被加工物的厚度的测量结果，调整保持面与磨削磨具的下表面的平行度。因此，具有用于调整保持面与磨削磨具的下表面的平行度的倾斜调整机构。

倾斜调整机构被主轴支承基座支承并使主轴单元倾斜，该主轴单元使磨削磨具进行旋转。或者，倾斜调整机构被装置基座支承并使卡盘轴单元倾斜，该卡盘轴单元使卡盘工作台进行旋转。

近年来，要求缩短被加工物的磨削时间。因此，在磨削加工时，磨削磨具以较大的载荷按压被加工物。但是，当载荷过大时，由于配置于被加工物与保持面之间的带被压溃等，难以使磨削后的被加工物的厚度均匀。

因此，通过根据磨削加工时的载荷的测量结果对载荷进行控制，实现磨削后的晶片的厚度的均匀化。与此相关，为了测量载荷，如专利文献1所公开的那样，在装置基座与卡盘轴单元之间或者主轴支承基座与主轴单元之间(部件之间)夹持有载荷传感器。

专利文献1：日本特开2003-326456号公报

专利文献2：日本特开2013-119123号公报

但是，在专利文献1所记载的结构中，当通过倾斜调整机构来改变卡盘轴单元或者主轴单元的倾斜时，夹持着载荷传感器的部件之间的距离变化。此时，当夹持着载荷传感器的部件之间的距离扩大时，存在载荷难以施加于载荷传感器而难以通过载荷传感器测量载荷的情况。

发明内容

因此，本发明的目的在于提供一种加工装置，在加工时，即使在进行了用于调整卡盘工作台的保持面与加工工具的下表面的平行度的倾斜调整之后，也能够适当地测量施加于加工工具的载荷。

根据本发明的一个方面，提供一种微调螺钉装配体，其设置成将第1部件和第2部件隔开间隔地连结，能够调整该第1部件与该第2部件之间的距离，并且能够检测施加于该第2部件的载荷，其中，该微调螺钉装配体具有：第1外螺纹，其能够拧入形成于该第1部件的第1内螺纹；第2外螺纹，其在该第1外螺纹的轴向的延长线上与该第1外螺纹分离地配置，能够拧入形成于该第2部件的第2内螺纹，该第2内螺纹具有与该第1内螺纹的螺距不同的螺距；连结部，其将相互分离的该第1外螺纹和该第2外螺纹连结成一体；以及载荷传感器，其被施加压缩载荷而收纳在该连结部的内部。