[发明专利]一种基于光场调控技术的激光清洗装置在审

专利信息
申请号: 202110223781.0 申请日: 2021-03-01
公开(公告)号: CN112859354A 公开(公告)日: 2021-05-28
发明(设计)人: 胡友友;陈康;张明明;窦健泰;荆庆丽;刘俊 申请(专利权)人: 江苏科技大学
主分类号: G02B27/09 分类号: G02B27/09;B08B7/00
代理公司: 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 代理人: 王美丽
地址: 212008 *** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 基于 调控 技术 激光 清洗 装置
【权利要求书】:

1.一种基于光场调控技术的激光清洗装置,其特征在于,包括依次设置的激光器(1)、扩束准直系统(8)、光场调控镜组(3)和动态聚焦镜组(4),所述的激光器(1)经过扩束准直系统(8)后入射到光场调控镜组(3),所述的光场调控镜组(3)将激光器(1)输出的高斯光束(2)整形后经过动态聚焦镜组(4)实现长焦深聚焦。

2.根据权利要求1所述的一种基于光场调控技术的激光清洗装置,其特征在于,所述的光场调控镜组(3)将激光器(1)输出的高斯光束(2)整形为贝塞尔高斯光束(41)、涡旋光束(61)、径向偏振光束(62)、角向偏振光束(63)。

3.根据权利要求1或2所述的一种基于光场调控技术的激光清洗装置,其特征在于,所述的光场调控镜组(3)采用轴锥镜(31)、波片或可变涡旋波片(5)。

4.根据权利要求3所述的一种基于光场调控技术的激光清洗装置,其特征在于,所述的波片包括四分之一波片(32)和二分之一波片(33)。

5.根据权利要求3所述的一种基于光场调控技术的激光清洗装置,其特征在于,所述的光场调控镜组(3)采用轴锥镜(31)将高斯光束(2)整形成贝塞尔光束(41)。

6.根据权利要求3所述的一种基于光场调控技术的激光清洗装置,其特征在于,所述的光场调控镜组(3)采用四分之一波片(32)和可变涡旋波片(5)将高斯光束(2)整形成涡旋光束(61)。

7.根据权利要求3所述的一种基于光场调控技术的激光清洗装置,其特征在于,所述的光场调控镜组(3)采用二分之一波片(33)和可变涡旋波片(5)将高斯光束(2)整形成径向偏振光束(62)或角向偏振光束(63)。

8.根据权利要求3所述的一种基于光场调控技术的激光清洗装置,其特征在于,所述光场调控镜组(3)的后方设有移动工作台(7),所述的移动工作台(7)上放置有待清洗材料。

9.根据权利要求1所述的一种基于光场调控技术的激光清洗装置,其特征在于,所述的动态聚焦镜组(4)包括多个透镜,能够同时实现光斑大小和焦距的动态变化。

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