[发明专利]一种加工粗糙度Ra0.4交叉球形孔加工工艺

说明书

本发明是一种加工粗糙度Ra0.4交叉球形孔加工工艺，其特征在于，包括如下步骤：步骤一、加工引导孔，防止钻头非正交加工孔时造成孔倾斜；步骤二、使用比到位孔径小0.1mm合金内冷钻头加工粗孔，先加工侧向深孔，后加工垂直深孔，保证两孔贯通，有利于排屑及冷却；步骤三、使用直刃成型球形铰刀，刃数3，精加工孔，保证孔壁粗糙度，不可以采用快速抬刀的方式铰孔，否则粗糙度无法达到要求。实现孔内粗糙度达到Ra0.4要求，加工质量稳定，内壁光滑过渡无接刀痕迹。

技术领域

本专利属于IC装备及精密零部件制造领域，特别是涉及一种加工粗糙度Ra0.4交叉球形孔加工工艺。适用于IC产品有交叉孔结构切孔粗糙度要求高的零件加工。

背景技术

在IC装备或精密制造领域，有很多类似交叉孔结构的工位，因其走气等特殊工位要求，对孔内的粗糙度要求教高，常规的加工方式都是使用机床加工保证粗糙度在RA1.6左右，然后使用手工抛修，达到粗糙度要求，但是对于一些孔教深切孔径小的交叉孔，手工操作难度很大，切很难达到理想的效果。

发明内容

针对上述存在的问题，经过多次的试切、优化，总结了一套数控机床上完成此类孔的加工，直接达到粗糙度RA0.4要求。

为实现本发明的目的，采用的技术方案是：

一种加工粗糙度Ra0.4交叉球形孔加工工艺，包括如下步骤：

步骤一、加工引导孔，防止钻头非正交加工孔时造成孔倾斜；

步骤二、使用比到位孔径小0.1mm合金内冷钻头加工粗孔，先加工侧向深孔，后加工垂直深孔，保证两孔贯通，有利于排屑及冷却；

步骤三、使用直刃成型球形铰刀，刃数3，精加工孔，保证孔壁粗糙度，不可以采用快速抬刀的方式铰孔，否则粗糙度无法达到要求。

使用一种新的铰孔方式，采用G1下刀，G1抬刀的方式，这里抬刀的速度可设置成下刀速度的5倍，保证了加工效率，同时也不影响加工质量。

本发明的有益效果是：

1、常规的加工方式都是使用机床加工保证粗糙度在RA1.6左右，然后使用手工抛修，达到粗糙度要求，但是对于一些孔教深切孔径小的交叉孔，手工操作难度很大，切很难达到理想的效果，加工质量不稳定。本发明实现了数控机床上完成此类孔的加工，直接达到粗糙度RA0.4要求。省去了人工打磨时间。

2、本发明工艺明显提高加工效率及加工质量，可在类似零件上广泛应用；

3、本发明提出了一种新的铰孔方式，采用G1下刀，G1抬刀的方式，这里抬刀的速度可设置成下刀速度的5倍，保证了加工效率，同时也不影响加工质量。常规的铰孔都是采用G1速度下刀，G0速度抬出孔外，在要求RA0.4以上这种方式已不再适用，快速抬到会剐蹭孔壁严重影响孔的粗糙度。这种加工孔的方式可在类似粗糙度要求较高的交叉孔零件中推广。

附图说明

图1为被加工的零件示意图。

图2为本发明采用的钻头示意图。

图3为本发明采用的铰刀示意图。

具体实施方式

下面结合附图1-3及实施例对本发明进行详细描述。

一种加工粗糙度Ra0.4交叉球形孔加工工艺，包括如下步骤：

步骤一、加工引导孔，防止钻头非正交加工孔时造成孔倾斜；

步骤二、使用比孔径小0.1mm合金内冷钻头加工粗孔，先加工侧向深孔，后加工垂直深孔，保证两孔贯通，有利于排屑及冷却；

步骤三、使用直刃成型球形铰刀，刃数3，精加工孔，保证孔壁粗糙度，不可以采用快速抬刀的方式铰孔，否则粗糙度无法达到要求。