[发明专利]一种微波化学气相沉积法生长金刚石的可分合真空腔

权利要求书

1.一种微波化学气相沉积法生长金刚石的可分合真空腔，包括支撑板（1）、下真空腔法兰（2）与上真空腔法兰（3），其特征在于：所述支撑板（1）的顶部设置有下真空腔法兰（2），所述下真空腔法兰（2）的顶部设置有上真空腔法兰（3），所述下真空腔法兰（2）和上真空腔法兰（3）是可分合的，所述下真空腔法兰（2）的顶部开设有密封结构，所述密封结构包括胶圈密封结构（4）和气压密封结构（5）。

2.根据权利要求1所述的一种微波化学气相沉积法生长金刚石的可分合真空腔，其特征在于：所述下真空腔法兰（2）与上真空腔法兰（3）通过均匀分布的螺丝结构进行加紧固定。

3.根据权利要求1所述的一种微波化学气相沉积法生长金刚石的可分合真空腔，其特征在于：所述下真空腔法兰（2）与上真空腔法兰（3）可通过均匀分布的其它结构进行加紧固定。

4.根据权利要求1所述的一种微波化学气相沉积法生长金刚石的可分合真空腔，其特征在于：所述胶圈密封结构（4）至少在最外圈设置一圈。

5.根据权利要求1所述的一种微波化学气相沉积法生长金刚石的可分合真空腔，其特征在于：所述气压密封结构（5）由下真空腔法兰（2）和上真空腔法兰（3）的表面槽状结构构成，通过内充超过一个大气压的气体实现密封。

6.根据权利要求5所述的上一种微波化学气相沉积法生长金刚石的可分合真空腔，其特征在于：所述槽状结构可在下真空腔法兰（2）上，且相应的所述上真空腔法兰（3）处为平面结构，且所述槽状结构可在上真空腔法兰（3）的下表面，且相应的所述下真空腔法兰（2）处为平面结构。

7.根据权利要求5所述的上一种微波化学气相沉积法生长金刚石的可分合真空腔，其特征在于：所述槽状结构内开设有充气孔（50），且所述充气孔（50）通入的气体可为超过一个大气压的氢气，且所述充气孔（50）通入的气体可为超过一个大气压的者氩气，且所述充气孔（50）通入的气体可为超过一个大气压的氩氢混合气。

8.根据权利要求1所述的上一种微波化学气相沉积法生长金刚石的可分合真空腔，其特征在于：所述胶圈密封结构（4）和气压密封结构（5）可以开设多圈，且所述胶圈密封结构（4）和气压密封结构（5）可以开设组合多圈，且所述胶圈密封结构（4）和气压密封结构（5）可以开设间隔的组合多圈。