[发明专利]一种光学检测装置中用于夹持薄板型光学元件的装置

说明书

本发明公开了一种光学检测装置中用于夹持薄板型光学元件的装置，包括容器框架、容器以及元件夹持机构，所述的容器框架的上端面设有安装口，所述的容器通过安装口安装在容器框架内，所述的元件夹持机构用于将待测光学元件夹持后一起放入容器中，所述的容器内设有折射率匹配液；所述的元件夹持机构包括采用合页结构连接的元件固定框和定位边框，所述的元件固定框上设有形状与待测光学元件匹配的安装槽，所述安装槽的边长尺寸略大于待测光学元件；所述容器框架的底部和两侧的狭长面上设有容器进光槽，所述元件固定框的顶部与其余三侧的狭长面上设有元件进光槽。利用本发明，可以有效地实现光学元件的夹持需求，能有效地应用于实际检测装置。

技术领域

本发明属于光学检测装置领域，尤其是涉及一种光学检测装置中用于夹持薄板型光学元件的装置。

背景技术

随着现代工业中激光的应用高速发展，使得对用于大型光学系统的光学元件提出了越来越高的要求。为有效地保证用于高性能要求的光学系统的光学元件能够满足设计要求，同时预估元件的使用寿命，以及对比不同加工方式下光学元件的品质，需要对光学元件进行精密的缺陷检测。

在此背景下，将光学元件检测主要的分为表面缺陷、亚表面缺陷、体缺陷等，其中一种用于测量体缺陷的激光聚焦线扫描法，要求将光学元件浸润在折射率匹配液中，以去除粗糙表面产生的散射对测量造成的影响。为实现光学元件固定于盛放有折射率匹配液的容器中，需要有一个适应容器尺寸的元件夹持装置。

根据实际装置设计，对该元件夹持装置做出如下要求：

(1)为减少需要的匹配液用量，元件与容器之间的间隙应尽可能小；(2)装置应有良好的密封性，保证装置在检测过程中不发生匹配液溢出的情况；(3)实际装置在检测过程中会发生移动，因此需要保证夹持的稳定性；(4)元件的为未加工的毛坯件，对应的尺寸误差和形位误差极大，需要考虑误差范围的夹紧调节；(5)实际检测需要对多块元件进行检测，因此需要实现元件取放方便；(6)检测过程需要激光照射元件，为此需要保证元件检测区域要通光。

此外，由于通常光学元件毛坯都是方形薄板，同时表面极其脆弱，为此需要夹持装置不能直接挤压元件表面，同时夹持装置所占空间要尽可能地小。对于这些极其苛刻的要求，目前常用的夹持装置无法满足其具体要求。

发明内容

本发明提供了一种光学检测装置中用于夹持薄板型光学元件的装置，可以有效地实现光学元件的夹持需求，能有效地应用于实际检测装置。

一种光学检测装置中用于夹持薄板型光学元件的装置，包括容器框架、容器以及元件夹持机构，所述的容器框架的上端面设有安装口，所述的容器通过安装口安装在容器框架内，所述的元件夹持机构用于将待测光学元件夹持后一起放入容器中，所述的容器内设有折射率匹配液；

所述的元件夹持机构包括采用合页结构连接的元件固定框和定位边框，所述的元件固定框上设有形状与待测光学元件匹配的安装槽，所述安装槽的边长尺寸略大于待测光学元件；

所述容器框架的底部和两侧的狭长面上设有容器进光槽，所述元件固定框的顶部与其余三侧的狭长面上设有元件进光槽。

本发明中，容器框架、容器与元件夹持机构组成三层嵌套结构，容器为全透光玻璃材质，用于盛放折射率匹配液，同时不遮挡内部光学元件的进光。安装完毕后，具有极佳的通光性，容器框架的前后都有大面积的扫描拍摄用的空槽，边框四周也设有进光槽，用于检测过程中的激光进入。

容器的外形由待测光学元件决定，其内腔各个方向的尺寸均比元件略大几个毫米，这个厚度同时也是元件夹持机构的厚度。容器安装在容器框架内部后，不再取出，容器框架的内腔尺寸由容器外尺寸决定，彼此形成较紧的间隙配合，既保证容器本身不受到向内压力，又使得容器不易从外框上脱出。

优选地，所述定位边框与元件固定框在靠近四个角的位置均设有互相匹配的方形压角。方形压角为实际与光学元件接触的主要位置，四角分布保证夹紧力平衡，不出现翘角的情况。