[发明专利]一种显示面板及其制备方法

权利要求书

1.一种显示面板，其特征在于，包括：

衬底基板，所述衬底基板上设置有层叠设置的减反层和金属层，所述减反层包括黑化层和过渡层；

其中，所述过渡层包括位于所述衬底基板和所述黑化层之间的第一过渡层，所述第一过渡层用于提升所述黑化层与所述衬底基板之间的附着力；所述金属层包括依次层叠设于所述衬底基板上的第一子金属层和第二子金属层，所述显示面板还包括位于所述减反层和所述第一子金属层之间的第二金属层和绝缘层，所述绝缘层位于所述第二金属层和所述第一子金属层之间；所述第二金属层在所述衬底基板上的投影覆盖所述第一子金属层和所述第二子金属层在所述衬底基板上的投影，所述减反层在所述衬底基板上的投影覆盖所述第二金属层在所述衬底基板上的投影，所述黑化层的材料包括MoaXbOcNd、MoaXbWc、MoaXbCc以及AlaObNc中的至少一种；其中，a、c和d均为大于0的有理数、b为大于等于0的有理数，X为钽、钒、镍、铌、锆、钨、钛、铼以及铪中的至少一种，所述黑化层的材料中X的质量百分比为5%~25%。

2.如权利要求1所述的显示面板，其特征在于，所述第一过渡层的材料为金属材料或非金属材料。

3.如权利要求2所述的显示面板，其特征在于，所述第一过渡层为金属材料，所述第一过渡层的厚度范围为0～10纳米。

4.如权利要求2所述的显示面板，其特征在于，所述第一过渡层为非金属材料，所述第一过渡层的厚度范围为0～100纳米。

5.一种显示面板的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

提供一衬底基板；

在所述衬底基板上依次制备减反层、第一子金属层、栅极绝缘层、有源层以及第二子金属层，所述减反层包括黑化层和过渡层；

其中，所述过渡层包括位于所述衬底基板和所述黑化层之间的第一过渡层，所述第一过渡层用于提升所述黑化层与所述衬底基板之间的附着力；所述金属层包括依次层叠设于所述衬底基板上的第一子金属层和第二子金属层，所述显示面板还包括位于所述减反层和所述第一子金属层之间的第二金属层和绝缘层，所述绝缘层位于所述第二金属层和所述第一子金属层之间；所述第二金属层在所述衬底基板上的投影覆盖所述第一子金属层和所述第二子金属层在所述衬底基板上的投影，所述减反层在所述衬底基板上的投影覆盖所述第二金属层在所述衬底基板上的投影，所述黑化层的材料包括MoaXbOcNd、MoaXbWc、MoaXbCc以及AlaObNc中的至少一种；其中，a、c和d均为大于0的有理数、b为大于等于0的有理数，X为钽、钒、镍、铌、锆、钨、钛、铼以及铪中的至少一种，所述黑化层的材料中X的质量百分比为5%~25%。

6.如权利要求5所述的制备方法，其特征在于，所述栅极绝缘层的制备步骤包括，在所述第一子金属层上沉积所述栅极绝缘层，所述沉积温度为300℃～400℃。