[发明专利]一种脉冲信号参数测试系统

说明书

本发明实施例提供一种脉冲信号参数测试系统，该脉冲信号参数测试系统包括延迟模块、开关模块、寄生电容改善模块和时间测量单元；脉冲信号参数测试系统的信号输入端分别与寄生电容改善模块的第一输入端和延迟模块的输入端连接；延迟模块的输出端分别与待测元件的输入端和开关模块的第一输入端连接，待测元件的输出端与开关模块的第二输入端连接，开关模块的输出端与寄生电容改善模块的第二输入端连接；开关模块用于分时选通开关模块的第一输入端与开关模块的输出端，或选通开关模块的第二输入端与开关模块的输出端。本发明实施例提供一种脉冲信号参数测试系统，提高了测试机对待测元件的传输延迟时间和脉冲信号边沿时间的测试精度。

技术领域

本发明涉及半导体领域，特别是涉及一种脉冲信号参数测试系统。

背景技术

芯片的量产测试是保证制造出来的芯片能够达到市场的使用要求，确保芯片本身的质量，从而提供给客户符合规范的、质量合格的产品，芯片的量产测试就是把缺陷挑出来，分离良品和不良品的过程。

芯片的测试中包括一项时间项目测试，时间项目测试包括对待测芯片的输入输出传输延迟的测试以及待测芯片输出信号的边沿时间的测试，在量产测试中对于待测芯片的传输延迟在20ns左右以及输出脉冲信号边沿时间小于10ns的时间项目测试是比较困难。主要的问题包括：

1、传统的量产测试机中的时间测量单元的时间测试精度为±10ns+0.1％读数，显然直接对芯片的时间项目测试其精度不能保证。

2、相同的一批芯片在不同的测试机上测试结果的平均值存在误差。

3、待测芯片信号通过连接线缆接入测试机中，连接线缆以及测试机本身存在寄生参数，尤其是寄生电容，改变了原信号的特征。

发明内容

本发明实施例提供一种脉冲信号参数测试系统，提高了测试机对待测元件的传输延迟时间和脉冲信号边沿时间的测试精度。

本发明实施例提供一种脉冲信号参数测试系统，该脉冲信号参数测试系统包括延迟模块、开关模块、寄生电容改善模块和时间测量单元；

所述脉冲信号参数测试系统的信号输入端分别与所述寄生电容改善模块的第一输入端和所述延迟模块的输入端连接；

所述延迟模块的输出端分别与待测元件的输入端和所述开关模块的第一输入端连接，所述待测元件的输出端与所述开关模块的第二输入端连接，所述开关模块的输出端与所述寄生电容改善模块的第二输入端连接；

所述寄生电容改善模块的第一输出端与所述时间测量单元的第一输入端连接，所述寄生电容改善模块的第二输出端与所述时间测量单元的第二输入端连接；

所述延迟模块用于延迟所述延迟模块的输入端输入的脉冲信号；所述开关模块用于分时选通所述开关模块的第一输入端与所述开关模块的输出端，或选通所述开关模块的第二输入端与所述开关模块的输出端，所述寄生电容改善模块用于改善所述脉冲信号参数测试系统中的寄生电容；所述时间测量单元用于测量所述时间测量单元的第一输入端与第二输入端输入的脉冲信号时间差。

可选的，所述延迟模块包括第一电阻和第一电容；

所述第一电阻的第一端为所述脉冲信号参数测试系统的信号输入端，所述第一电阻的第二端与所述第一电容的第一端连接；

所述第一电容的第一端与所述待测元件的输入端连接，所述第一电容的第二端接地。

可选的，所述开关模块包括单刀双掷开关；

所述单刀双掷开关的第一端与所述待测元件的输入端连接，所述单刀双掷开关的第二端与所述待测元件的输出端连接，所述单刀双掷开关的控制端与所述寄生电容改善模块的第二输入端连接。

可选的，本发明实施例提供的脉冲信号参数测试系统还包括第一反相器、第二反相器和第三反相器；