[发明专利]氮氧化物模式与臭氧模式相结合的放电等离子体消毒装置

权利要求书

1.一种放电等离子体消毒装置，其包括：

第一甲电极和第一乙电极，二者用于：在第一电压下生成第一等离子体气体，其中，第一等离子体气体以氮氧化物为主导产物；

第二甲电极和第二乙电极，二者用于：在第二电压下生成第二等离子体气体，其中，第二等离子体气体以臭氧为主导产物；

活性气体混合腔室，用于混合第一等离子体气体和第二等离子体气体形成混合活性气体，其中，所述混合活性气体可直接用于消毒灭菌，或者先处理水溶液，再用等离子体活化水消毒灭菌，第一等离子体气体和第二等离子体气体按如下方式混合：

臭氧活性气体体积：

a为第二等离子体气体的傅里叶红外吸收光谱在波数为1055cm^-1处吸收值，b为第一等离子体气体的傅里叶红外吸收光谱在波数为1630cm^-1处吸收值，c为第一等离子体气体的傅里叶红外吸收光谱在波数为1900cm^-1处吸收值。

2.根据权利要求1所述的消毒装置，其还包括：

第一高压电源，其配置成提供第一电压；

第一等离子体源，其连接所述第一高压电源，所述第一等离子体源包括，

第一等离子体腔室，其设有第一进气口和第一出气口，所述第一出气口连通第一可控流量气泵，

第一甲电极，其连接所述第一高压电源，

第一乙电极，其连接所述第一高压电源，所述第一甲电极和第一乙电极在第一电压下在第一等离子体腔室内生成第一等离子体气体，所述第一等离子体气体以氮氧化物为主导产物。

3.根据权利要求2所述的消毒装置，其还包括：

第二高压电源，其配置成提供第二电压；

第二等离子体源，其连接所述第二高压电源，所述第二等离子体源包括，

第二等离子体腔室，其设有第二进气口和第二出气口，所述第二出气口连通第二可控流量气泵，

第二甲电极，其连接所述第二高压电源，

第二乙电极，其连接所述第二高压电源，

绝缘介质板，其设在第二甲电极和第二乙电极之间，

所述第二甲电极和第二乙电极在第二电压下在第二等离子体腔室内生成第二等离子体气体，所述第二等离子体气体以臭氧为主导产物；

活性气体混合单元，其包括，

入口，其连接所述第一可控流量气泵和第二可控流量气泵，

活性气体混合腔室，其连接所述入口以混合第一等离子体气体和第二等离子体气体形成混合活性气体。

4.根据权利要求3所述的消毒装置，其中，所述第一高压电源包括正弦电源、射频电源或直流电源，第一高压电源的电压10kV以上，输出功率200W以上，第二高压电源的电压5kV以上，输出功率8W以上。

5.根据权利要求3所述的消毒装置，其中，所述消毒装置还包括基于所述混合活性气体的气体喷射消毒单元和/或气体填充消毒单元，其均连接所述活性气体混合单元的出口。

6.根据权利要求3所述的消毒装置，其中，所述活性气体混合腔室还包括，

加热器，其加热活性气体混合腔室中的混合活性气体，控制活性气体混合腔室的温度为30-50摄氏度；

紫外灯，其照射所述混合活性气体。

7.根据权利要求3所述的消毒装置，所述第一进气口和第二进气口连接补气阀，所述补气阀为无开启气压的单向阀，其出口与第一进气口和第二进气口相连。

8.根据权利要求3所述的消毒装置，其中，所述第一可控流量气泵和第二可控流量气泵经由止回单向阀连接所述入口。

9.一种利用如权利要求3-8中任一项所述的消毒装置进行消毒的方法，所述方法包括以下步骤：

利用第一高压电源提供第一电压，第一等离子体源生成第一等离子体气体，所述第一等离子体气体以氮氧化物为主导产物，

利用第二高压电源提供第二电压，第二等离子体源生成第二等离子体气体，所述第二等离子体气体以臭氧为主导产物；

使能所述第一出气口经由第一可控流量气泵导出第一预定量的第一等离子体气体；

使能所述第二出气口经由第二可控流量气泵导出第二预定量的第二等离子体气体；

按照混合比例在所述活性气体混合腔室中将第一等离子体气体和第二等离子体气体形成混合活性气体，其中，混合比例为：

臭氧活性气体体积：

a为第二等离子体气体的傅里叶红外吸收光谱在波数为1055cm^-1处吸收值，b为第一等离子体气体的傅里叶红外吸收光谱在波数为1630cm^-1处吸收值，c为第一等离子体气体的傅里叶红外吸收光谱在波数为1900cm^-1处吸收值。