[发明专利]一种基于芯片与智能制造的电子气体制备系统及方法

说明书

本发明涉及关键电子气体原料及智能制备技术领域，具体为一种基于芯片与智能制造的电子气体制备系统及方法。本发明包括底板和支撑架，底板的顶部的一端固定安装有支撑架，还包括：第一处理机构、第二处理机构、定量下料机构、上料机构、冷却机构、液氮回收机构、分子筛处理机构、深度提纯机构和电子气体存储罐，支撑架内部的顶端及低端分别设置有第一处理机构和第二处理机构，支撑架内位于第一处理机构的顶部设置有定量下料机构，且定量下料机构与第一处理机构连接，底板顶部位于两个支撑架的侧边均设置有上料机构，且两个上料机构分别与两个定量下料机构连接。本发明利用率高，成本耗用低，对电子气体的制备效率高。

技术领域

本发明涉及关键电子气体原料及智能制备技术领域，具体为一种基于芯片与智能制造的电子气体制备系统及方法。

背景技术

在芯片制造过程中需要使用到电子气体，电子气体是超大规模集成电路、平面显示器件、化合物半导体器件、太阳能电池、光纤等电子工业生产不可缺少的原材料，它们广泛应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺，硅烷是微电子工业中一种非常重要的高纯硅源气体，它独特的分子结构和物化性质使其在现代微电子工业及材料科学和技术中起着重要的作用。

现有电子气体（如硅烷气体）制备过程中物料一般需要复杂的化学反应制备而成，制备过程中需要多个工序分别进行操作，工序复杂，在对反应物转移过程中容易导致反应物中掺杂杂质，影响电子气体的纯度，而且工序繁多造成设备成本较高，为此，我们提出一种基于芯片与智能制造的电子气体制备系统及方法。

发明内容

本发明的目的在于提供一种基于芯片与智能制造的电子气体制备系统及方法，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种基于芯片与智能制造的电子气体制备系统，包括底板和支撑架，所述底板的顶部的一端固定安装有支撑架，还包括：第一处理机构、第二处理机构、定量下料机构、上料机构、冷却机构、液氨回收机构、分子筛处理机构、深度提纯机构和电子气体存储罐；

所述支撑架内部的顶端及低端分别设置有第一处理机构和第二处理机构，所述支撑架内位于第一处理机构的顶部设置有定量下料机构，且定量下料机构与第一处理机构连接，所述底板顶部位于两个支撑架的侧边均设置有上料机构，且两个上料机构分别与两个定量下料机构连接；

所述底板顶部位于支撑架的侧边设置有冷却机构，且底板顶部位于冷却机构的侧边设置有液氨回收机构，所述液氨回收机构的侧边设置有分子筛处理机构，所述底板顶部的另一端设置有深度提纯机构，且底板顶部位于深度提纯机构的侧边设置有电子气体存储罐；

所述第一处理机构和第二处理机构均包括加热槽和处理罐，所述第一处理机构和第二处理机构上的加热槽分别固定安装在支撑架内部的顶端及低端，所述加热槽内壁的底部均安装有加热板，所述支撑架内部的顶端及低端均设置有处理罐，所述处理罐的外侧对称设置有固定板，且固定板的表面四角均设置有安装孔，所述处理罐上的固定板通过固定螺丝固定安装在支撑架内壁，所述第一处理机构和第二处理机构上的处理罐分别位于两个加热槽内部，所述第二处理机构上的处理罐顶端设置有液氨进口，且液氨进口外侧安装有控制阀。

优选的，所述支撑架内部顶端的处理罐底部设置有连通筒，且连通筒外侧安装有控制阀，所述连通筒的端部伸入支撑架低端的处理罐内，所述第一处理机构上的处理罐内转动连接有传动杆，且传动杆的端部伸入第二处理机构上的处理罐内部，所述传动杆位于两个处理罐内部的一段均等距设置有搅拌叶片，所述传动杆的顶部穿过处理罐固定有从动齿轮，所述处理罐的顶部固定安装有搅拌电机，且搅拌电机的输出轴端部固定安装有主动齿轮，所述主动齿轮与从动齿轮啮合连接，所述支撑架内部顶端的处理罐顶部对称设置有上料口。

优选的，所述定量下料机构包括存料箱、转动电机、转动轴、拨料杆、下料筒和螺旋叶片，所述支撑架的顶部对称固定安装有存料箱，且存料箱的底部设置有下料筒，且下料筒与上料口连接，所述存料箱内壁的顶部转动连接有转动轴，且转动轴外侧等距安装有拨料杆，所述转动轴的低端伸入下料筒内，且转动轴位于下料筒内部一端的外侧设置有螺旋叶片。