[发明专利]管式清洗设备以及光伏镀膜系统

权利要求书

1.一种管式清洗设备，其特征在于，包括筒形腔体，所述筒形腔体设置有清洗供气部以向所述筒形腔体内提供清洗气体；

所述清洗供气部包括若干出气口，所述若干出气口包括主出气口和从出气口，所述主出气口朝向所述筒形腔体的同一组成部分设置以使提供的清洗气体形成主喷射轨迹，所述从出气口朝向所述主喷射轨迹设置；

所述筒形腔体由相对的两个腔门以及位于所述两个腔门之间的筒形侧壁围设而成；

所述清洗供气部还包括贯穿所述两个腔门之间的任意一种以沿所述筒形腔体的轴向方向延伸设置的主清洗管路，所述主出气口设置于所述主清洗管路并位于所述筒形腔体内；

所述清洗供气部还包括从所述两个腔门中的任意一个延伸至所述筒形腔体内的从清洗管路，所述从清洗管路沿所述筒形腔体的轴向方向延伸设置，并具有若干相互连通的分支管路，每个分支管路设置有所述从出气口，且一端贯穿所述筒形侧壁，以使所述从出气口朝向所述筒形侧壁设置；

所述从出气口的数目至少为1，并沿所述筒形腔体的轴向方向或周向方向间隔设置。

2.根据权利要求1所述的管式清洗设备，其特征在于，所述筒形腔体内设置有载具固定部，以可拆卸固定连接包含若干载板的载具，并使所述主出气口和所述从出气口均朝向所述载具的开槽面设置。

3.根据权利要求1所述的管式清洗设备，其特征在于，所述从出气口距离所述筒形腔体内侧壁的垂直距离不小于所述筒形腔体内径的25％。

4.根据权利要求1所述的管式清洗设备，其特征在于，所述从出气口距离所述两个腔门的任意一种的垂直距离不小于所述筒形腔体长度的25％。

5.根据权利要求1所述的管式清洗设备，其特征在于，还包括设置于所述筒形侧壁的加热装置，以控制所述筒形腔体内的温度。

6.根据权利要求5所述的管式清洗设备，其特征在于，还包括与所述主出气口设置于不同腔门的真空装置，以控制所述筒形腔体内的压力。

7.根据权利要求6所述的管式清洗设备，其特征在于，还包括与所述主出气口设置于同一腔门的集中等离子体发生装置。

8.根据权利要求7所述的管式清洗设备，其特征在于，还包括与所述主出气口设置于同一腔门的沉积气体管路，以提供沉积气体。

9.根据权利要求7所述的管式清洗设备，其特征在于，还包括与所述集中等离子体发生装置相对设置的载具内等离子体发生装置，以利于激发载具内的气体等离子化。

10.根据权利要求1所述的管式清洗设备，其特征在于，还包括传输装置，以带动载具进出所述筒形腔体。

11.根据权利要求1所述的管式清洗设备，其特征在于，所述清洗供气部还包括供气控制部，所述供气控制部对所述若干出气口进行独立控制或者对所述若干出气口中的至少部分出气口进行协同控制，以调节不同出气口喷射气体的流量和供气时间。

12.一种光伏镀膜系统，其特征在于，包括镀膜沉积腔体以及如权利要求1-11中任一项所述的管式清洗设备。

13.根据权利要求12所述的光伏镀膜系统，其特征在于，还包括载具，所述管式清洗设备包括载具固定部和沉积出气口，当所述载具可拆卸固定连接于所述载具固定部，所述沉积出气口以及所述若干出气口距离所述载具外表面的垂直距离不小于5厘米。